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2009 Fiscal Year Annual Research Report

超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を用いた熱物性その場測定法の開発

Research Project

Project/Area Number 21760163
Research InstitutionKeio University

Principal Investigator

田口 良広  Keio University, 理工学部, 専任講師 (30433741)

Keywordsナノ熱工学 / 近接場光 / 走査型プローブ顕微鏡 / 計測技術 / 蛍光寿命
Research Abstract

近接場光は光の波長よりも十分に小さい開口に局在する非伝播光成分であり、そのしみ出し深さは開口径と同程度である。ナノサイズの微小開口を有する近接場プローブを用いることで、光の回折限界を超えた高い空間分解能で試料の光学応答を分析することができる。本研究では、ナノ領域において「そこにどのような構造の分子が、どの程度結晶欠陥やボイドを有し、どのくらい均一・均質に基板に修飾されているか」を光学的に直接モニタリングする革新的その場測定手法を確立することを目指しており、平成21年度は以下に挙げる具体的な成果を得るに至った。
◆超高感度近接場蛍光熱顕微鏡の開発
(1) コアの構成材料が純粋石英であるファイバーを近接場ファイバー母材に選定した。レーザー分光によるファイバー母材の自家蛍光を測定したところ、従来の近接場ファイバーの30%程度のノイズであることが明らかになった。また、ファイバー母材の蛍光寿命の測定を位相分解蛍光寿命測定法を用いて行った結果、量子ドットの蛍光寿命よりも遥かに短いことが分かった。
(2) Geを高濃度にドープした近接場ファイバーを純粋石英ファイバー先端に200μm程度だけ作成する方法を提案した。本方法を用いることにより、自家蛍光の影響を低減させることが可能となった。コア径が異なる2種類のファイバーを融着するために、放電強度ならびに融着位置、スイープ速度等の融着パラメータを決定し、低損失な融着ファイバーの作成に成功した。

  • Research Products

    (21 results)

All 2010 2009

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (18 results)

  • [Journal Article] レーザー誘起誘電泳動を用いた小型拡散センサーの開発2009

    • Author(s)
      猪谷恒一
    • Journal Title

      熱物性 23

      Pages: 197-202

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Micro Optical Viscosity Sensor for in situ Measurement Based on a Laser-Induced Capillary Wave2009

    • Author(s)
      Taguchi, Y.
    • Journal Title

      J.Thermal Sci. and Tech. 4

      Pages: 99-108

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Development of Near-field Fluoresence Lifetime Thermometry2009

    • Author(s)
      Taguchi, Y
    • Journal Title

      Nanosc.Microse.Therm. 13

      Pages: 77-87

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Study on Novel Micro Optical Diffusion Sensor based on Laser Induced Dielectrophoresis2010

    • Author(s)
      Itani, K.
    • Organizer
      The 23rd IEEE MEMS2010
    • Place of Presentation
      Hong Kong
    • Year and Date
      2010-01-24
  • [Presentation] Feasibility Study of Micro Optical Diffusion Sensor based on Laser Induced Dielectrophoresis2010

    • Author(s)
      Itani, K.
    • Organizer
      SPIE Photonies West
    • Place of Presentation
      San Francisco
    • Year and Date
      2010-01-23
  • [Presentation] Development of Miniaturized Optical Viscosity Sensor with Optical Surface Tracking System2010

    • Author(s)
      Abe, H.
    • Organizer
      SPIE Photonics West
    • Place of Presentation
      San Francisco
    • Year and Date
      2010-01-23
  • [Presentation] Development of Micro Optical Diffusion Sensor Based on Laser Induced Dielectrophoresis2009

    • Author(s)
      Taguchi, Y.
    • Organizer
      ASME 2009 2nd Micro/Nanoscale Heat & Mass Transfer International Conference(MNHMT2009)
    • Place of Presentation
      Shanghai
    • Year and Date
      2009-12-18
  • [Presentation] ナノからマクロまでの光学的熱物性センシング2009

    • Author(s)
      田口良広
    • Organizer
      日本顕微鏡学会 走査型プローブ顕微鏡分科会「光プローブ顕微鏡の新たな活躍の場を求めて~顕微鏡技術の融合と熱物性への応用~」
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2009-12-15
  • [Presentation] レーザー誘起表面波法を用いた粘性率測定マイクロチップの開発(第三報 液面-センサー間距離制御機構を用いた揮発性溶液の測定)2009

    • Author(s)
      阿部広
    • Organizer
      日本機械学会熱工学コンファレンス2009講演論文集
    • Place of Presentation
      宇部
    • Year and Date
      2009-11-07
  • [Presentation] 周期加熱サーモリフレクタンス法を用いたSip実装半導体デバイス内部におけるマイクロスケール熱抵抗評価手法の開発2009

    • Author(s)
      秋葉洋
    • Organizer
      日本機械学会熱工学コンファレンス2009講演論文集
    • Place of Presentation
      宇部
    • Year and Date
      2009-11-07
  • [Presentation] レーザー誘起誘電泳動を用いたマイクロ拡散センサーの開発2009

    • Author(s)
      田口良広
    • Organizer
      第30回日本熱物性シンポジウム講演論文集
    • Place of Presentation
      米沢
    • Year and Date
      2009-10-29
  • [Presentation] 偏光した近接場光を用いたナノスケール温度・熱物性測定手法の開発2009

    • Author(s)
      保坂俊輔
    • Organizer
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-10-15
  • [Presentation] レーザー誘起誘電泳動を用いた拡散係数モニタリングのための集積化マイクロチップに関する予備的検討2009

    • Author(s)
      猪谷恒一
    • Organizer
      第1回マイクワ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-10-15
  • [Presentation] 光学式粘性センサーを用いたリアルタイムモニタリング実現性の検討2009

    • Author(s)
      阿部広
    • Organizer
      第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2009-10-15
  • [Presentation] 光MEMS熱物性センサーを用いた粘性率、拡散係数のリアルタイムモニタリング2009

    • Author(s)
      田口良広
    • Organizer
      日本機械学会RC237分科会「先端的熱流体計測法に関する研究分科会」第6回研究会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2009-09-08
  • [Presentation] Development of Micro Optical Viscosity Sensor with Focus control System for in-process Monitorin2009

    • Author(s)
      Taguchi, Y.
    • Organizer
      IEEE/LEOS Optical MEMS and Nanophotonics 2009
    • Place of Presentation
      Florida
    • Year and Date
      2009-08-17
  • [Presentation] Development of High Sensitive Near-Field Fluorescence Lifetime Thel mometry with Nanoscale Spatial Resolution2009

    • Author(s)
      Oka, T.
    • Organizer
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • Place of Presentation
      Boulder
    • Year and Date
      2009-06-24
  • [Presentation] Development of Photothermal Reflectance Method for Microscale The rmal Resistance in SiP-mounted Semiconductor Devices2009

    • Author(s)
      Akiba, Y.
    • Organizer
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • Place of Presentation
      Boulder
    • Year and Date
      2009-06-24
  • [Presentation] Development of Micro Optical Diffusion Sensor using Opto-dielectrop horesis2009

    • Author(s)
      Taguchi, Y.
    • Organizer
      Proc.17th Symposium on Thermophysical Prope rties
    • Place of Presentation
      Boulder
    • Year and Date
      2009-06-24
  • [Presentation] レーザー誘起誘電泳動を用いた新しい光学的小型拡散センサーの研究 第一報:測定原理の妥当性の検証及び相互拡散現象の観察2009

    • Author(s)
      蛭子井明
    • Organizer
      第46回日本伝熱シンポジウム講演論文
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2009-06-03
  • [Presentation] 偏光近接場を用いた高感度ナノスケール温度測定手法の開発(第一報 測定原理の検証および従来法との感度比較)2009

    • Author(s)
      笠掛利彰
    • Organizer
      第46回日本伝熱シンポジウム講演論文
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2009-06-03

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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