2009 Fiscal Year Annual Research Report
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21760263
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| Research Institution | Okayama Prefectural University |
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Principal Investigator |
岸原 充佳 Okayama Prefectural University, 情報工学部, 准教授 (50336905)
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| Keywords | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / マイクロデバイス / スパッタ蒸着 / 導波管フィルタ / 導波管カプラ |
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| Research Abstract |
1. 本研究では,放射光によるテフロンの微細加工と表面への金属の蒸着を通して,ミリ波(30GHz～)やそれ以上のサブミリ波領域(300GHz～)での応用が可能な導波路および受動回路素子を構成する技術の開発を試みている.21年度は,以前の成果(若手研究(B),課題番号18760258)に基づき,ミリ波のQバンド(33-50GHz)および比較的周波数が高いVバンド(50-75GHz)を中心とする回路サイズで,ストレート,マイターベンド,アイリス結合バンドパスフィルタ,十字形方向性結合器の各テフロン充填H面導波管素子の放射光直接エッチングとAuスパッタ・電解メッキを行った.
2. Qバンドで試作を行った5段アイリス結合バンドパスフィルタは,幅200μmで深さ1mmの細いスリットを含むパターンであるが,本製作プロセスのスパッタ蒸着で金属膜形成まで十分可能であることを明らかにした.また,周波数特性,導体損・誘電体損を評価し,フィルタとして良好な特性が得られていることを確認した.これにより,複雑な形状を持つ他の機能回路についても同様に製作可能であるとの結論を得た.
3. 導波路内の一部のテフロンをくり抜いて空気領域を作成し,周囲と誘電率を反転させることで,誘電体を装荷する場合と同手順で十字形方向性結合器を設計した.放射光エッチングによる結合器パターンの切り出し,およびAu膜形成を行った.空気領域の上下Au膜形成には,テフロンパターン上にフィルムを挟む構造を採用した.今後,周波数特性の評価を行う.
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