2021 Fiscal Year Annual Research Report
3次元THzフォノニック構造の多段階無機合成と熱絶縁
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21H02032
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| Research Institution | National Institute for Materials Science |
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Principal Investigator |
佐藤 宗英 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (00509961)
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| Project Period (FY) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| Keywords | 多段階無機合成 / 熱伝導率測定 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
機構内業務を起点として見出したフレキシブル熱電モジュールの熱抵抗の可視化法（Satoh et al. MRS. Adv. 2020）を発展させることで、実際に既知物質の熱伝導率を導出可能であることを確認した。これを更に深化させる形で、Si基板上の薄膜の熱伝導率の評価にとりかかっている。この際、ドットを含まず低熱伝導化していないALD薄膜の熱伝導率を評価するのに十分な膜厚を得る上でトラブルがあったが、課題を抽出し、より早く成膜するためのALD装置の改造・整備も完了した。一方で、長年、検討を重ねていた多段階無機合成薄膜の構造決定について進捗が得られた。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
コロナ禍の影響もあり研究業務員の雇用が遅れている面もあるが、一方でALD装置の改造や構造決定法の開拓において進捗があったため。
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| Strategy for Future Research Activity |
薄膜の熱伝導率を定量的に評価する基盤を確立することで、多段階無機合成薄膜の構造-物性相関の解明に向けて研究を推進する。
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Research Products
(2 results)
