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2023 Fiscal Year Annual Research Report

表面波プラズマのフィラメント配列とプラズマフォトニック結晶

Research Project

Project/Area Number 21K03519
Research InstitutionIwate University

Principal Investigator

向川 政治  岩手大学, 理工学部, 教授 (60333754)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 鎌田 貴晴  八戸工業高等専門学校, その他部局等, 助教 (50435400)
Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
Keywordsマイクロプラズマ / マイクロ波放電 / フィラメント化 / プラズマフォトニック結晶 / 誘電体バリア放電 / 自己組織化 / 散逸ソリトン
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、屈折率の周期構造をマイクロプラズマで実現し、電磁波制御デバイスとしてのプラズマフォトニック結晶の実現方法として提案し、電磁波と散逸ソリトンの基本相互作用の学理を探求する。令和5年度では、(1)大気圧窒素マイクロギャップDBDの放電様相の観測、(2)フィラメント状構造のマイクロ波放電プラズマへの投入エネルギー密度の評価、(3)大気圧ヘリウムマイクロギャップDBDの自己組織構造の放電モード遷移と放電開始電圧の評価、を行った。
(1)では、昨年度に引き続きICCDカメラの露光時間などの撮像条件を変えて放電様相の観測し、フィラメント放電の時間進展とその構造の周期性の評価を行った。放電フィラメントは1回の放電で同時には現れずランダムな配列を示すが,印加電圧の5~10 サイクルの積算でフィラメント配列は六角構造の像を成すことがわかった。
(2)では、大気圧および準大気圧におけるマイクロ波放電プラズマの生成系のエネルギー損失を考慮に入れ、フィラメント状プラズマへの投入エネルギー密度を評価した。フィラメント長15~45mmに変化に対し投入エネルギー密度は 100~40 W/cm3 であり、電子密度はほぼ一定の 5×10^9 cm^-3 を示すことがわかった。
(3)DBDの自己組織構造の発現の初期段階を探るため、自己組織放電からグロー放電へ遷移するときの放電開始電圧を評価した。印加電圧やガス流の増加により放電は自己組織構造からグロー構造に変化し、この変化時に放電開始電圧は減少することがわかった。

  • Research Products

    (12 results)

All 2023

All Journal Article (3 results) Presentation (9 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Influence of Gas Species on Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering2023

    • Author(s)
      Taishin Sato, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki
    • Journal Title

      NIFS 研究紀要集 NIFS-PROC-125

      Volume: 125 Pages: 28-32

  • [Journal Article] Observation of the stripe and filamentary self-organized structure of atmospheric pressure nitrogen microgap dielectric barrier discharge2023

    • Author(s)
      Ryota Akaishi, Katuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
    • Journal Title

      NIFS 研究紀要集 NIFS-PROC-125

      Volume: 125 Pages: 33-35

  • [Journal Article] Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure2023

    • Author(s)
      Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
    • Journal Title

      NIFS 研究紀要集 NIFS-PROC-125

      Volume: 125 Pages: 36-38

  • [Presentation] Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure2023

    • Author(s)
      Zentarou Sasaki, Tsubasa Saito, Takaharu Kamada, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki, Seiji Mukaigawa
    • Organizer
      25th International Symposium on Plasma Chemistry( ISPC25)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 温度測定によるマイクロ波伝送損失の推定とプラズマ 投入電力2023

    • Author(s)
      佐々木善太朗、目時健吾、 鎌田貴晴、高橋克幸、高木浩一、 向川政治
    • Organizer
      2023 年度電気関係学会東北支部連合大会
  • [Presentation] 誘導結合プラズマおけるファラデーシールドによるE モード放電の抑制2023

    • Author(s)
      中村瑞希、高橋 響、鎌田貴晴、 高橋克幸、高木浩一、向川 政治
    • Organizer
      2023 年度電気関係学会東北支部連合大会
  • [Presentation] Production of High-Density Plasma by 150 kHz Band Burst Pulse for One-Inch Etching Process2023

    • Author(s)
      Koichi Takaki, Naohiro Takahashi, Katsuyuki Takahash, Seiji Mukaigawa
    • Organizer
      The 7th Taiwan-Japan Workshop on Plasma Life Science and Technology
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Observation of argon plasma driven by 150 kHz band high power burst pulse voltage2023

    • Author(s)
      K. Takahashi, N. Takahashi, H. Suenaga, S. Mukaigawa, K. takaki
    • Organizer
      The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 擬火花放電プラズマCVD法による水素化アモルファスカーボン膜の成膜2023

    • Author(s)
      月舘悠斗、鎌田貴晴、渡部政行、中村嘉孝、角館俊行、向川政治
    • Organizer
      第40回 プラズマ・核融合学会 年会
  • [Presentation] 誘導結合プラズマのE H モード遷移におけるファラデーシールドの影響2023

    • Author(s)
      中村瑞希 , 高橋響 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 鎌田貴晴 , 向川政治
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会
  • [Presentation] 大電力パルススパッタリングのガス種依存性2023

    • Author(s)
      五十嵐爽斗 , 佐藤太進 , 高橋克幸 , 向川政治 , 高木浩一
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会
  • [Presentation] 大気圧ヘリウムマイクロギャップDBD における自己組織構造と放電開始電圧2023

    • Author(s)
      狩野遼也 , 高橋克幸 , 高木浩一 , 向川政治
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第7 8 回学術講演会

URL: 

Published: 2024-12-25  

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