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2021 Fiscal Year Research-status Report

新規国際標準規格に基づく表面性状評価手法の確立

Research Project

Project/Area Number 21K03828
Research InstitutionIwate University

Principal Investigator

内舘 道正  岩手大学, 理工学部, 教授 (30422067)

Project Period (FY) 2021-04-01 – 2025-03-31
Keywords表面性状 / フィルタ
Outline of Annual Research Achievements

輪郭曲線のロバストなフィルタ手法の検討として,通常のガウシャンフィルタ,0次と2次のガウシャン回帰フィルタ,0次と2次のロバストガウシャンフィルタの実装方法について検討を行った.
始めに,ガウシャン回帰フィルタの処理手法を確認し,各データ点に対して0次または2次の関数をガウスの重み関数を使ってフィッティングする方法であることを確認し,プログラム実装を行った.
続いて,ロバストガウシャンフィルタの処理手法について,核関数を用いてロバスト性を持たせる手法であることを確認し,プログラム実装を行った.さらに,核関数の種類(バイウェイト型,フーバー型,刈り込み型)とそれらで用いられるチューニングパラメータの値の影響を検討した.結果的には,核関数の種類とチューニングパラメータの影響はさほど大きくないという結果が得られた.
さらに,それぞれのフィルタ手法に関してサイン波の振幅伝達特性を調査し,2次のフィルタでは振幅伝達率がガウシャンフィルタのものと大きく異なり,カットオフ波長での振幅伝達率が50%とかけ離れた値となることがわかった.この結果は2次のフィルタのカットオフ波長はその位置付けが曖昧であり,適用上の問題となる可能性を示唆している.さらに,実際の表面性状処理では輪郭曲線に対して予め形状補正を行うのが一般的であるため,2次のフィルタを用いるメリットがあるのかどうかも疑問があり,その有効性や妥当性についてさらなる検討が必要である.
実施上や応用上の問題としては,実装したプログラムではフィルタ処理の計算時間が数分かかってしまうため,今後はアルゴリズムのさらなる改善や実装方法の検討が必要である.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初の計画通り,フィルタの実装が進んでいる.ただし,計算時間を短縮するためのアルゴリズムの改善と実装方法の再検討が必要となっており,今後の課題である.

Strategy for Future Research Activity

アルゴリズムの詳細な見直しを行い,実装方法の再検討を行う.

Causes of Carryover

計画ではプログラムの妥当性確認のためにDigital Surf社の表面性状処理のプログラムの購入を予定していたが,より安価で同等な機能を有するソフトウェアの調査を行い,digital metrology社のソフトウェアで同等な機能が果たせることを確認した.次年度に購入を予定している.また,コロナ禍で参加を予定してた研究発表会が中止となり,旅費が全く発生しなかった.

URL: 

Published: 2022-12-28  

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