低侵襲治療用医療器具先端に人間の指感覚の付与を目指した触覚センサの研究

2021 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 21K12796
• Research Institution: Wakayama University
• Principal Investigator: 幹 浩文 和歌山大学, システム工学部, 講師 (20403363)
• Project Period (FY): 2021-04-01 – 2024-03-31
• Keywords: 低侵襲 / 触覚 / MEMS / 材料特性

Outline of Annual Research Achievements

2021年度当初の研究計画に沿って研究を進めてきた。予定通りに，COMSOL解析ソフトを駆使して感度・Cross-talk面での振る舞いを調べ，その結果とセンサ構造およびアレイ配置との関係が分かった。デバイスの最適構造の実現に対応するための作製プロセスを検討し，対応するフォトマスクを作製してウェットエッチングの基本特性の解明を行った結果，センシング材料が顕著な異方性エッチング性質を有することがわかった。プロセス条件の違いによるエッチング特性の振る舞いをさらに調べ構造設計の知見を得る必要がある。

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初予定した計画通りに研究を進め，おおむね期待した結果が得られているので，おおむね順調に進展してるものと考える。

Strategy for Future Research Activity

エッチング液の種類の違いによるセンシング材料の作製構造の結果に対する振る舞いについてさらに検討を進め，構造設計の指針を得る必要がある。材料の特性にあわせて設計構造の変更を行い，構造解析による検証を進める予定である。予定通りに順調であれば実際の設計に基づき一次の試作品の作製プロセスに進み，最終のゴールを目指して必要課題の抽出を行う方針である。

Causes of Carryover

4125円の次年度使用額が生じた。購入予定であった実験用の有機溶媒の残量がまだ残ってあったので、薬品管理の利便性の都合で次年度購入することにした。