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2023 Fiscal Year Annual Research Report

低沸点冷媒で駆動するMEMS超小型タービン発電機

Research Project

Project/Area Number 21K14214
Research InstitutionNihon University

Principal Investigator

金子 美泉  日本大学, 理工学部, 助教 (30755418)

Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
KeywordsMEMS / オーガニックランキンサイクル / タービン / 冷却 / タンク
Outline of Annual Research Achievements

本研究テーマは100℃以下の低品位な熱源を利用した循環型発電システムを小型化するための要素開発を目的としている。廃熱として100℃以下を利用することを想定していることから、作動流体には低沸点媒体を利用し、また構造の小型化のためにシリコンの微細加工技術であるMEMS(Micro Elerctro Mechanical Systems)技術を導入した。初年度はタービン機構について、シリコン構造内にタービン翼と作動流体の流入・排出流路を形成し回転動作について解析行った。この結果から、循環流路と回転数の関係性を明らかにした。また、低沸点媒体が貯蔵部内で加熱される際の相変化が確認されたことから、次年度は流体解析と貯蔵部のシリコン構造化を目的に研究を行い、ミリメートルスケールで貯蔵部、加圧部を形成したMEMSボイラーを設計・作製した。作製したボイラーについて有限要素法により流体解析を行い、加熱方向によって気相状態の作動流体がどのような挙動を示すかを明らかにした。また、これまで開発を行ってきたタービンに接続し約2千回転の回転数を得た。この時、ボイラーは100℃程度で加熱した。これらの結果からシリコンボイラーにより廃熱回収が可能なことも明らかになった。最終年度はこれまで開発を行ってきたタービン機構(回転部)、流路、貯蔵部を含む加熱部についてモノリシック構造内部に形成する一体化型の設計と作製を行った。この際にタービン構造についても低背化と磁石の内蔵化を行った。開発した低背・磁石内蔵型タービンについて外部より加熱した低沸点媒体を流入し加熱温度が82.9℃の時、約5万回転を示した。研究期間を通して、小型循環型発電システムのシリコン化、タービン、流路、貯蔵部を含むボイラーの要素開発、さらにモノリシック構造での一体化の設計を行い、小型発電システムの実現性を示した。

  • Research Products

    (3 results)

All 2023

All Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Invited: 1 results)

  • [Presentation] Development of MEMS Boiler Tank for Miniature ORC Power Generation System2023

    • Author(s)
      Minami Kaneko, Yuya Niki, Fumio Uchikoba
    • Organizer
      9th International Conference on Sustainable Technology and Engineering 2023 (i-COSTE 2023)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Advanced Sensor & Microsystems Technology (MST)2023

    • Author(s)
      Minami Kaneko
    • Organizer
      International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology conference (IMPACT 2023)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] シリコン微細加工技術によるORC発電機の小型化2023

    • Author(s)
      仁木雄哉、阪本千紘、金子美泉、内木場文男
    • Organizer
      第33回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

URL: 

Published: 2024-12-25  

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