Development of high-sensitivity and durable terahertz sensor with fine PN doping and organic protective layer

2022 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 21K14501
• Research Category: Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Review Section: Basic Section 28030:Nanomaterials-related
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: Suzuki Daichi 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (80823640)
• Project Period (FY): 2021-04-01 – 2023-03-31
• Keywords: カーボンナノチューブ / テラヘルツ / ドーピング / レーザーアブレーション

Outline of Final Research Achievements

In this research, we conducted on the depelopment of carbon nanotube (CNT) film devices. A high-sensitivity and durable THz sensor patch was developed. In addition, we demonstrated a powerful industrial quality inspection application using the developed THz sensor patch.

Free Research Field

ナノ材料工学

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

半導体微細化の極限が訪れつつある近年、シリコンに替わる革新材料としてCNTが注目を集めており、様々なデバイスが開発されている。しかしボトルネックとなっているのが、CNT膜への微細PNパターニング技術の欠落である。そこで本研究では、CNT膜デバイスの深化・発展を目的とし、CNT膜への微細PNパターニング技術及び長期性能安定化技術を開発した。本研究成果は関連研究全体の基盤技術として広く活用されることが期待される。