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2022 Fiscal Year Research-status Report

Innovative performance improvement of electron source by heterojunction

Research Project

Project/Area Number 21K17994
Research InstitutionNagoya University

Principal Investigator

郭 磊  名古屋大学, シンクロトロン光研究センター, 助教 (10816127)

Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
Keywordsアルカリカソード薄膜 / ヘテロ接合 / 真空輸送装置 / 光電子分光
Outline of Annual Research Achievements

アルカリカソード薄膜によるヘテロ結合を用いて負の電子親和力が得られる新しいNEA-GaAs構造を実現するため、アルカリカソード薄膜の動作真空圧力の制限、時間あるいは電子ビームによる寿命が短いという欠点を克服する必要がある。これらの問題を対処するため、薄膜の分子構造の理解とその劣化メカニズムを解明することが有効だと考えられる。2022年度に薄膜フォトカソードの一種であるCsK2Sbフォトカソードの機能を損なわずに輸送できる真空スーツケース(真空度:<10-7Pa)を用い、あいちシンクロトロン光センター(あいちSR)のビームラインBL7Uへカソードを輸送し、光電子分光を行った。具体的には、名古屋大学の蒸着装置用いてグラフェンとMo半々の基板にCsK2Sbフォトカソードの成膜を行い、それを15km離れているあいちSRに輸送し、BL7UでX線光電子分光法(XPS)により深さ方向の分析を行った。その分析結果をもとに、カソード元素(Sb、K、Cs)の組成比と化学量論を定量的に評価した。グラフェン上のカソードにはCs過剰の表面があることが示したが、Mo基板の場合はそうではないことが分かった。また、グラフェン上のカソードはMo上のと比較してQEが高かったため、Cs過剰な表面が高いQEにつながることを示している。さらに、KとCsがスパッタリングで減少することが分かった。一方、スパッタリング後のグラフェン上のCs-K-Sb構造は、Mo上の構造よりも多くのアルカリ金属を含んでいます。この結果は、グラフェン上に形成されたSb結晶構造が、Mo上の結晶構造よりもアルカリ金属に対して透過性が高い可能性があることを示唆している。これらの結果から、成膜手法の再構成すれば、深さ方向に均一なNEA薄膜を得られることが示唆する。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

新しいNEA層に利用できるアルカリカソード薄膜の深さ方向の分子構造について光電子分光を用いて分析した。その結果のもとに、深さ方向に均一なNEA薄膜を作れる条件が探し出し、ヘテロ接合によるNEA薄膜の開発を進める。

Strategy for Future Research Activity

2023年度に光電子分光を用いて、アルカリカソード薄膜の深さ方向の分子構造と劣化メカニズムの解明を試みる。一方、光電子分光を結果ものもとに、成膜手法の見直しなどを行う。深さ方向に均一なアルカリカソード薄膜を備えるNEA層を開発し、その性能のテストも行う。

  • Research Products

    (1 results)

All 2023

All Presentation (1 results)

  • [Presentation] 真空輸送装置を用いた半導体フォトカソードの劣化メカニズムの光電子分光分析2023

    • Author(s)
      塩原慧介
    • Organizer
      第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム

URL: 

Published: 2023-12-25  

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