2021 Fiscal Year Comments on the Screening Results

光子散乱量子効果に基づいたエンジニアード・サーフェス・メトロロジーの学理基盤構築

Research Project

Project/Area Number	21K18159
Research Category	Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	高谷裕浩大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (70243178)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	水谷康弘大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40374152) 上野原努大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (10868920)
Project Period (FY)	2021-07-09 – 2025-03-31
Summary of the Research Project	最先端のナノ微細加工で創成される3次元微細構造の機能性評価を目的とし，光子散乱量子効果という全く新しい原理に基づいた光計測法を確立する研究である。独自の量子的3Dゴーストイメージングに，2光子量子干渉による変位計測を組み合わせて，既存の方法では達成できないマクロ・レベルからミクロ・レベルに至るダイナミックレンジが広い光子散乱表面計測技術が確立される可能性がある。
Scientific Significance and Expected Research Achievements	最先端のナノ微細加工で創成される3次元微細構造（ナノ表面トポグラフィ）とそれにより発現する機能を明らかにするためには，マクロ・レベルからミクロ・レベルに至るダイナミックレンジの広い計測方法が求められている。この計測技術が確立されれば，ナノ表面トポグラフィと機能の関係が明らかとなり，次世代半導体デバイスの設計に大きく貢献できる。