2021 Fiscal Year Research-status Report
1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法
| Project/Area Number |
21K18668
|
|---|
| Research Institution | The University of Tokyo |
|---|
Principal Investigator |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
門屋 祥太郎 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2021-07-09 – 2023-03-31
|
| Keywords | 異物検出 / ナノ欠陥 / ナノ異物 / シリコンウエハ / 表面欠陥 |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
従来半導体プロセスにおいて現場適用されていた光学的散乱型計測法原理では物理的検出限界となっていた超平滑加工表面のナノ付着異物計測法について新光学システムの提案，開発を目指す．具体的には，基板上に滴下した揮発性不活性溶媒の液相界面とナノ異物との近接場における力学的・光学的相互作用を，並列情報処理性，現場適用性の高い遠隔場光学技術で取得することで，非破壊性，高速性を維持したまま，従来異物サイズ検出限界を打破可能な新概念近接場計測プローブ法の開発において，動的位相差検出が可能な新しい概念の光学システムの適用を提案し，1nm表面異物欠陥計測実現への可能性を，理論・実験の両面から検討する．
本年度においては，マトリックス状の動的空間位相変調素子を用いて，従来π/2に固定されている低周波帯域情報と高周波帯域情報の相対位相差を任意に制御できる提案概念基礎検討実験装置の設計を行った．具体的には，対物レンズの後ろ側焦平面をリレーレンズにより下流にとりだし，動的空間位相変調素子を介した後に，空間周波数情報取得光学系および実空間情報取得光学系を配置するものである．
|
| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
提案動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測システムを設計するための基礎データを収集するために必要な，マトリックス状の動的空間位相変調素子を，対物レンズ後ろ側焦点面に対応させた，動的位相差顕微基礎実験装置の開発に成功したため．
|
| Strategy for Future Research Activity |
今年度開発した動的位相差顕微基礎実験装置を用いた近接場相互作用液相プローブの光学観察特性を解析し，提案動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測システムの設計，開発をすすめる．
|
| Causes of Carryover |
提案動的位相差検出型・近接場液相プローブ観測システム実現のための基礎実験装置において実装予定だった，当初購入予定の空間位相変調素子を研究室代替品で流用できたことにより，該当予算を，翌年度予定している実験システム開発に適用する研究方針とすることができたから．
|
