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2022 Fiscal Year Research-status Report

分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現

Research Project

Project/Area Number 21K18734
Research InstitutionWaseda University

Principal Investigator

柳谷 隆彦  早稲田大学, 理工学術院, 教授 (10450652)

Project Period (FY) 2021-07-09 – 2024-03-31
Keywords圧電薄膜共振子 / 音響ブラッグ反射器 / エピタキシャル成長
Outline of Annual Research Achievements

基地局向けのRFフィルタには数W以上の耐電力性が求められる。5Gでは4Gに比べて多くの基地局が必要となる。圧電薄膜の分極を反転させて多層にしていけば、音波の共振周波数はそのままに、厚さを層数倍していくことができる。理論上、このような構造では高い耐電力性が期待できる。しかしながら、国際的に見て、薄膜の分極反転多層成長の実験的な成功例はない。本研究では、独自の圧電薄膜の分極反転多層構造および多結晶薄膜に比べて損失の小さい単結晶薄膜を用いて、耐電力性を向上させた小型周波数フィルタの実現をすることを目的としている。耐電力性の高いフィルタを得るには、従来の橋げた構造(FBAR構造)に比べて、基板に固定されており、排熱が容易なブラッグ反射器を用いた構造(SMR構造)の採用が必要と考えられる。まず、昨年度に構築したパルスエコー法による音響多層ブラッグ反射器の機械特性評価技術を拡張した。具体的には、昨年度まで超音波トランスデューサにはc軸垂直配向のScAlN圧電薄膜を用いて縦波のみを評価していたが、今年度には新たにc軸傾斜配向のScAlN圧電薄膜を開発し、世界初の横波の音響多層ブラッグ反射器の機械特性に成功した。さらにシミュレーションと実験の両面から有効性も確認できた。また、耐電力性向上に向けて、(111)Pt/サファイア基板へのScAlN圧電薄膜のエピタキシャル成長実験も行った。その結果、ScAlN圧電薄膜の(10-11)極点図では、理論通り明確な6回対称を確認することができ、エピタキシャル成長を確認することができた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

新たにc軸傾斜配向のScAlN圧電薄膜を開発し、世界初の横波の音響多層ブラッグ反射器の機械特性に成功した。シミュレーションと実験結果も良い一致を示した。(111)Pt/サファイア基板へのScAlN圧電薄膜のエピタキシャル成長実験を行った結果、ScAlN圧電薄膜の(10-11)極点図では、理論通り明確な6回対称を確認することができ、エピタキシャル成長を確認することができた。

Strategy for Future Research Activity

今後さらに高周波帯のブラッグ反射器の評価技術の確立および、エピタキシャル成長圧電薄膜をブラッグ反射器上に形成する手法について確率する。

Causes of Carryover

値引きなどにより、少額の残額が生じた。

  • Research Products

    (70 results)

All 2023 2022

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (66 results) (of which Int'l Joint Research: 26 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Enhanced Electromechanical Coupling in Yb-Substituted III?V Nitride Alloys2022

    • Author(s)
      Jia Junjun、Iwata Naoya、Suzuki Masashi、Yanagitani Takahiko
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 4 Pages: 3448~3456

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c00371

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A method for extracting sole mechanical properties of Bragg reflector by GHz ultrasonic pulse-echo technique2022

    • Author(s)
      T. Yanagitani, N. Ishii, K. Kondo, M. Suzuki
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.,

      Volume: vol.121, no. 18 Pages: pp.182901

    • DOI

      10.1063/5.0109429

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Giga-hertz ultrasonic reflectometry for fingerprint imaging using epitaxial PbTiO3 transducers2022

    • Author(s)
      K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato, and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.,

      Volume: vol.121, no. 17 Pages: pp.172903

    • DOI

      10.1063/5.0106931

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Oblique incidence ultrasonic reflectometry device based on c-axis tilted ScAlN films for evaluating viscoelastic properties of liquids above 100 MHz2022

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.,

      Volume: vol.121, no. 15 Pages: pp.152901

    • DOI

      10.1063/5.0112070

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定2023

    • Author(s)
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] 基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性2023

    • Author(s)
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] 基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案2023

    • Author(s)
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製2023

    • Author(s)
      渡海智, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] 圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案2023

    • Author(s)
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性2023

    • Author(s)
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長2023

    • Author(s)
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性2023

    • Author(s)
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
  • [Presentation] エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR2023

    • Author(s)
      渡海智, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較2023

    • Author(s)
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価2023

    • Author(s)
      島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性2023

    • Author(s)
      馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離2023

    • Author(s)
      白岩和剛, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2023

    • Author(s)
      小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2023

    • Author(s)
      中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性2023

    • Author(s)
      國信聡太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] (10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性2023

    • Author(s)
      内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films2022

    • Author(s)
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IC-MAM 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thickness shear mode epitaxial (10?("1" ) "2") LiNbO3 (11?("2" )0) AZO/(10?("1" ) "2") Al2O3 BAW resonator2022

    • Author(s)
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IC-MAM 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process2022

    • Author(s)
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IC-MAM 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique2022

    • Author(s)
      N. ishi and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IC-MAM 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] c軸傾斜MgZnO薄膜における擬似横波励振特性2022

    • Author(s)
      島野耀康, 柳谷隆彦
    • Organizer
      日本音響学会第148回
  • [Presentation] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜における擬似横波励振特性2022

    • Author(s)
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • Organizer
      日本音響学会第148回
  • [Presentation] (10-12)LiNbO3エピタキシャル薄膜/(10-12)Al2O3基板のGHz帯向け擬似横波励振特性2022

    • Author(s)
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      日本音響学会第148回
  • [Presentation] PZTエピタキシャル薄膜のZr/Ti比における機械的品質Qmの依存性2022

    • Author(s)
      國信聡太, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ウルツ鉱型強誘電体薄膜におけるGHz帯kt2-Eヒステリシス特性2022

    • Author(s)
      石井直輝, 小林栞, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 基板付きの圧電薄膜と自立構造の圧電薄膜に対する 各種 kt2値評価法の比較2022

    • Author(s)
      関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 20%を超える高いkt2値のc軸配向Sc0.4Al0.6N薄膜および高いk´352値のc軸傾斜配向Sc0.4Al0.6N薄膜2022

    • Author(s)
      内田拓希, 清水 祐樹, 鈴木 雅視, 高柳 真司, 柳谷 隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 耐電力性向上を目的とした分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子2022

    • Author(s)
      柴田真之, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長と擬似横波励振特性2022

    • Author(s)
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 分極反転多層デバイスに向けた極性制御MgZnO圧電薄膜の作製2022

    • Author(s)
      島野耀康, 高柳真司, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] (100)AgNbO3エピタキシャル薄膜/(100)STO基板のGHz帯超音波励振特性2022

    • Author(s)
      浴田航平, 大森拳, 工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価2022

    • Author(s)
      鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響2022

    • Author(s)
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field2022

    • Author(s)
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Transversal type BAW filter based on polarization-inverted ScAlN multilayers2022

    • Author(s)
      S. Shibata and T. Yanagitan
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Power Durability Evaluation of Higher-order Mode Polarization-inverted ScAlN Thin Film Resonators2022

    • Author(s)
      S. Shibata and T. Yanagitan
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for higher resolution of fingerprint imaging using GHz reflectometry of back side of substrate2022

    • Author(s)
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] SMR-type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer2022

    • Author(s)
      K. Shiraiwa and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of epitaxial piezoelectric layer on acoustic Bragg reflector using epitaxial sacrificial layer2022

    • Author(s)
      S. Tokai and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films2022

    • Author(s)
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A method for evaluating sole mechanical properties of acoustic Bragg reflector by pulse echo technique in the GHz range2022

    • Author(s)
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium2022

    • Author(s)
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering2022

    • Author(s)
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Sputter epitaxial (101??2) LiNbO3 film / (112??0) AZO / (101??2) Al2O3 shear mode thin film resonators2022

    • Author(s)
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack?for gyroscope applications2022

    • Author(s)
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films2022

    • Author(s)
      S. Li and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Grow of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry2022

    • Author(s)
      Y. Shimano and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evaluation of mechanical Q factor of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial films without removing substrate2022

    • Author(s)
      Y. Shimizu and T. Yanagitan
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] GHz electromechanical coupling hysteresis curves for ferroelectric ScAlN and epitaxial MgZnO films2022

    • Author(s)
      N. Ishi and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films2022

    • Author(s)
      Y. Koike and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Extracting Q factor of the piezoelectric thin films from film/high-Q substrate HBAR structure2022

    • Author(s)
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • Organizer
      IEEE IUS 2022
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted MgZnO epitaxial thin film2022

    • Author(s)
      H. Kishi and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
  • [Presentation] Extraction of mechanical reflectance of acoustic Bragg reflector by GHz pulse echo technique2022

    • Author(s)
      M. Suzuki and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
  • [Presentation] Mechanical Q factor dependence on Zr/Ti ratio of sputter-grown PZT epitaxial thin films2022

    • Author(s)
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
  • [Presentation] Thickness shear mode BAW resonator based on epitaxial (10-12) LiNbO3 (11-20) AZO/(10-12) Al2O32022

    • Author(s)
      S. Kudo and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
  • [Presentation] GHz frequency switchable BAW filter applications of ferroelectric ScAlN and MgZnO thin films2022

    • Author(s)
      T. Yanagitani
    • Organizer
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] kt2 hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate2022

    • Author(s)
      S. Kuninobu and T. Yanagitani
    • Organizer
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fingerprint imaging using GHz PbTiO3 epitaxial thin film ultrasonic transducer2022

    • Author(s)
      K. Nakamura and T. Yanagitani
    • Organizer
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Mechanical Q factor extraction of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial thin films without removing substrate2022

    • Author(s)
      Y. Shimizu and T. Yanagitani
    • Organizer
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出2022

    • Author(s)
      清水祐樹, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会
  • [Presentation] 基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響2022

    • Author(s)
      関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会
  • [Presentation] c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性2022

    • Author(s)
      岸大貴, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会
  • [Presentation] LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性2022

    • Author(s)
      工藤慎也, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会
  • [Presentation] SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定2022

    • Author(s)
      近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会
  • [Presentation] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性2022

    • Author(s)
      李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波研究会

URL: 

Published: 2023-12-25  

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