原子オーダ平坦な界面を有する３次元立体構造トランジスタの製造プロセスに関する研究

2013 Fiscal Year Abstract(Research Progress Assessment)

• Project/Area Number: 22000010
• Research Category: Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: Science and Engineering; Engineering
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: OHMI Tadahiro 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 名誉教授 (20016463)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): HIRAYAMA Masaki 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (70250701) ; GOTO Tetsuya 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授 (00359556) ; SUWA Tomoyuki 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教 (70431541)
• Project Period (FY): 2010-04-21 – 2015-03-31