2013 Fiscal Year Abstract(Research Progress Assessment)

半導体多層配線のプロセス限界を超越する拡散バリア層の開発原理

Research Project

Project/Area Number	22226012
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
Allocation Type	Single-year Grants
Research Field	Structural/Functional materials
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	KOIKE Junichi 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (10261588)
Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha)	SUTOU Yuji 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (80375196) NEISHI Koji 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (00404020) ANDO Daisuke 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (50615820)
Project Period (FY)	2010-04-01 – 2015-03-31