2012 Fiscal Year Annual Research Report
レーザー・マイクロ波ハイブリッド型メソプラズマＣＶＤによるナノポーラス材料の創製
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22246082
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
後藤 孝 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (60125549)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
伊藤 暁彦 東北大学, 金属材料研究所, 助教 (20451635)
塗 溶 東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (80396506)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | 機能性セラミックス / メソプラズマ / 化学気相析出 / ナノポーラス / コーティング |
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| Research Abstract |
本研究者らは、これまで新規高速成膜プロセスとして、レーザーCVDを提案し、種々のセラミックス膜を従来の数100倍以上の成膜速度で作製してきた。本プロセスは、レーザーの電磁波により原料ガスを電離させ、数k～数10 kPaの全圧の領域でメソプラズマを発生することによって化学反応が著しく活性化されるレーザー励起プラズマCVDである。
本研究では、このレーザー励起プラズマCVDに、さらにマイクロ波および電子サイクロトロン共鳴磁場を援用した新たなレーザー・マイクロ波ハイブリッドCVDを開拓し、従来未開のメソプラズマを用いた新規低温・高速成膜プロセスを確立する。
超多孔質膜は、粒径数十nmの空隙のネットワーク構造を持った膜である。近年、このような多孔体は、自動車用排ガス処理などの触媒担持体やフィルター材料として重要な材料になっている。現在、種々の溶射プロセスやEBPVD (電子ビーム物理蒸着) などを用いた試みがなされているが、極めて多孔質でポアサイズをよく制御した材料を、均一かつ効率的に低温でコーティングできる技術はない。レーザーCVDで合成した厚膜では、羽毛状の組織を有する膜を作製することができる。高温強度に優れたAl2O3および光触媒機能材料TiO2、新しい構造用セラミックスとして期待されているAl2TiO5などの酸化物膜や高い耐酸化性を有するSiCを作製した。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(24 results)
