2013 Fiscal Year Annual Research Report
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22360016
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| Research Institution | University of Tsukuba |
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Principal Investigator |
牧村 哲也 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (80261783)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岡田 龍雄 九州大学, システム情報科学研究科(研究院), 教授 (90127994)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2014-03-31
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| Keywords | レーザープラズマ軟X線 / ポリジメチルシロキサン / シリコーンエラストマー / マイクロ加工 / 極端紫外光 / 光直接加工 |
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| Research Abstract |
ポリジメチルシロキサン(PDMS)は, 生体適合性がありバイオテクノロジーおよび微小化学分析器に不可欠な構造材である。本研究では, レーザー生成プラズマを用いた狭帯域・高パワー密度軟X線源を開発した。これを用いてPDMSに軟X線を照射し, 励起準位を制御した高密度励起を行った。この軟X線照射によるPDMSの加工について研究を行った。まず, 真空紫外から軟X線の領域までの広い範囲で得られるプラズマ輻射光をPDMSに照射した. ある閾値以上のプラズマ光を照射したところ, 直径が1μmの穴開けなど精密なアブレーション加工が可能であることを明かにした。また, 閾値近傍では, PDMSのメーカーおよびロットにより隆起が起きる場合があり, 加工には向かないことを示した。また, Si 2s 内殻励起が可能な11 nmのプラズマ光と, 比較のため 13 nm にピークを持つプラズマ光を照射した。 ここで用いた3種類の光源の範囲では, 波長によるアブレーション特性の相異は認められず, 照射パワー密度によってアブレーション深さが決まっていることを明かにした。さらに, 光電子分光により分析したところ, 照射前後で表面の化学的構造が変化することなくアブレーション加工を実現てきることが明らかとなった。以上の研究により, 従来法では困難であった 1μmから1mmの長さの領域においてPDMSを加工する軟X線微細加工法を確立した。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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[Presentation] レーザープラズマ放射極端紫外光による微細加工2013
Author(s)
鳥居 周一, 小森 隆幸, 高橋 翔大, 小川 端生, 藤枝 隆一郎, 深見 慎太郎, 杉浦 信彦, 牧村 哲也, 中村 大輔, 高橋 昭彦, 岡田 龍雄, 新納 弘之, 村上 浩一
Organizer
レーザー学会第450回研究会
Place of Presentation
早稲田大学西早稲田キャンパス, 東京
Year and Date
20131022-20131022
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[Presentation] Micromachining of PMMA using laser plasma soft X-rays for fabrication of 3D molds in a micrometer scale2013
Author(s)
Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kouta Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
Organizer
The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
Place of Presentation
Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
Year and Date
20130724-20130724
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[Presentation] Ablation Process of PMMA Induced by Irradiation with Laser Plasma EUV Light2013
Author(s)
Nobuhiko Sugiura, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Yoshiyuki Ichinosawa, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami
Organizer
The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
Place of Presentation
Kyoto International Confernce Center, Kyoto
Year and Date
20130703-20130703
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