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2012 Fiscal Year Annual Research Report

X線CTR散乱ホログラフィによる原子分解界面構造解析法の開発とその応用

Research Project

Project/Area Number 22360018
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

高橋 敏男  東京大学, 物性研究所, 教授 (20107395)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 白澤 徹郎  東京大学, 物性研究所, 助教 (80451889)
Project Period (FY) 2010-04-01 – 2013-03-31
KeywordsX線回折 / 放射線 / 超薄膜 / 表面・界面 / 位相問題 / 直接法 / CTR散乱 / トポロジカル絶縁体
Research Abstract

半導体エレクトロニクスに代表されるように、デバイスの高機能化微細化に伴い、界面構造を理解することの重要性が増大している。デバイスの特性は、界面付近の構造に敏感であることはよく知られているが、これまで、界面付近の構造を原子スケールで評価する方法がほとんどなく研究が進展していない。申請者は、これまでX線回折法、とくにCTR(結晶トランケーションロッド)散乱法により、表面・界面、超薄膜の構造を決定してきた。本研究では、構造モデルを立てることなく、CTR散乱の測定データから直接的に表面・界面、超薄膜の構造を原子分解能で求める方法を確立し、その手法を興味ある系に発展的に応用して行くことを目的としている。
本年度は、これまでの準備研究・実績に基づいて以下の研究を行った。まず、超高真空中でSi(111)基板にBi2Te3薄膜をエピタキシャル成長させ、その上にさらにBi超薄膜(14原子層)をエピタキシャル成長させた試料について、本研究の手法を適用し、各原子層を電子密度として再構成することに成功した。その結果、Si基板とBi2Te3薄膜との界面に濡れ層が存在することがモデルフリーに示された。同時に、解析された各原子層の電子数や広がりからBi超薄膜およびBi2Te3薄膜の結晶性、結晶成長機構に関する知見が得られた。また、Bi超薄膜の平均格子定数は、表面垂直方向に3%伸び、表面平行方向に4%伸縮していることが分かり、Bi超薄膜がトポロジカル転移し得るということを構造の観点から実験的に初めて明らかにした。さらに、測定の対象を有機超薄膜に広げた。Bi基板上に成長させたペンタセン超薄膜では、ペンタセンはこれまで知られているバルク相や単結晶相とは異なる分子配向をとることが分かった。

Current Status of Research Progress
Reason

24年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

24年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (21 results)

All 2013 2012 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (18 results) (of which Invited: 4 results)

  • [Journal Article] Structure of a Bi/Bi2Te3 heteroepitaxial film studied by x-ray crystal truncation rod scattering2013

    • Author(s)
      T.Shirasawa, J.Tsunoda, T.Hirahara and T.Takahashi
    • Journal Title

      Phys. Rev. B

      Volume: 87 Pages: 075449(1-5)

    • DOI

      DOI:10.1103/PhysRevB.87.075449

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A method for measuring the specular X-ray reflectivity with millisecond time resolution2013

    • Author(s)
      W.Voegeli1, T.Matsushita, E.Arakawa, T.Shirasawa, T.Takahashi and Y. F.Yano
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conference Series

      Volume: 425 Pages: 092003(1-4)

    • DOI

      DOI:10.1088/1742-6596/425/9/092003

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] X線CTR散乱ホログラフィによる表面・界面原子イメージング2012

    • Author(s)
      白澤徹郎、高橋敏男
    • Journal Title

      X線結像光学ニューズレター

      Volume: 36 Pages: 5-7

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] CuドープBi2Se3薄膜のX線CTR散乱法による構造解析2013

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      日本物理学会第68回年次大会
    • Place of Presentation
      広島大学
    • Year and Date
      2013-03-26
  • [Presentation] X線CTR散乱法によるトポロジカル絶縁体Bi2Se3超薄膜の構造解析2013

    • Author(s)
      杉木祐人
    • Organizer
      日本物理学会第68回年次大会
    • Place of Presentation
      広島大学
    • Year and Date
      2013-03-26
  • [Presentation] X線CTR散乱法によるBi/Bi2Te3トポロジカル絶縁体薄膜の界面構造解析2013

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      第30回PFシンポジウム
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場
    • Year and Date
      2013-03-14
  • [Presentation] 波長分散型X線CTR散乱法を用いたルチルTiO2(110)表面超親水化反応の時分割測定2012

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      日本物理学会2012年秋季大会
    • Place of Presentation
      横浜国立大学
    • Year and Date
      2012-09-18
  • [Presentation] 透過型off-Bragg条件におけるX線回折強度とビーム軌道

    • Author(s)
      高橋敏男
    • Organizer
      PF研究会「シリコン単結晶:理想品質へのあくなき追求:半導体産業の米と放射光X線光学素子として」
    • Place of Presentation
      高エネルギー加速器研究機構
    • Invited
  • [Presentation] Quick Three-Dimensional Reciprocal Space Mapping in a the Simultaneous Multi-Wavelength Dispersive Mode

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      The 11th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation
    • Place of Presentation
      リヨン(フランス)
  • [Presentation] Time-resolved X-ray CTR scattering measurement on the photo-induced hydrophilic transition of the TiO2(110) surface

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      12th International Conferance on Surface X-ray and Neutron Scattering (SXS12)
    • Place of Presentation
      コルカタ(インド)
  • [Presentation] Structure of gold atomic chains on the Si(553) surface and their low-temperature structural changes

    • Author(s)
      Voegeli Wolfgang
    • Organizer
      12th International Conferance on Surface X-ray and Neutron Scattering (SXS12)
    • Place of Presentation
      コルカタ(インド)
  • [Presentation] Reconstruction of Atoms at Surface/interface by Using X-ray Crystal Truncation Rod Scattering

    • Author(s)
      高橋敏男
    • Organizer
      ISSP International Workshop on 3D Atomic Imaging at Nano-scale active sites in materials
    • Place of Presentation
      東京大学物性研究所
    • Invited
  • [Presentation] Molecular Arrangement of Pentacene Ultrathin Film Studied with Surface X-ray Scattering

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      ISSP International Workshop on 3D Atomic Imaging at Nano-scale active sites in materials
    • Place of Presentation
      東京大学物性研究所
  • [Presentation] Structure of gold atomic chains on the Si(553) surface and their low-temperature structural changes

    • Author(s)
      Voegeli Wolfgang
    • Organizer
      ISSP International Workshop on 3D Atomic Imaging at Nano-scale active sites in materials
    • Place of Presentation
      東京大学物性研究所
  • [Presentation] Quick time-resolved X-ray reflectivity using an undulator source

    • Author(s)
      Voegeli Wolfgang
    • Organizer
      日本物理学会2012年秋季大会
    • Place of Presentation
      横浜国立大学
  • [Presentation] A Molecular Arrangement of Pentacene in UltraThin Film Revealed by Surface

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      第10回半導体表面に関する日露セミナー(JRSSS10)
    • Place of Presentation
      東京大学本郷キャンパス
  • [Presentation] 陽電子回折への期待

    • Author(s)
      高橋敏男
    • Organizer
      PF研究会「KEK低速陽電子実験施設における陽電子回折研究およびPsビーム研究の新展開
    • Place of Presentation
      高エネルギー加速器研究機構
    • Invited
  • [Presentation] Atomic-layer-resolved imaging of epitaxially grown ultra thin films with X-ray CTR scattering

    • Author(s)
      高橋敏男
    • Organizer
      第8回放射光表面科学研究部会顕微ナノ材料科学研究会合同シンポジウム
    • Place of Presentation
      慶応義塾大学
    • Invited
  • [Presentation] 結晶性ペンタセン超薄膜の表面X線回折法による構造解析

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      第26回日本放射光学会年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学
  • [Presentation] 多波長同時分散型X線CTR散乱法を用いたルチルTiO2(110)表面超親水化反応のその場観察

    • Author(s)
      白澤徹郎
    • Organizer
      第30回PFシンポジウム
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場
  • [Presentation] 実験室特性X線源を用いた高速逆格子空間マッピング法の開発

    • Author(s)
      Voegeli Wolfgang
    • Organizer
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学

URL: 

Published: 2014-07-24  

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