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2012 Fiscal Year Final Research Report

Far-lnfrared BIB Detector Fabrication by Wafer-Bonding Technique

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 22360025
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Applied optics/Quantum optical engineering
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

DOI Yasuo  東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助教 (70292844)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) HIGURASHI Eiji  東京大学, 先端科学技術研究センター, 准教授 (60372405)
HOSAKO Iwao  情報通信研究機構, 新世代ネットワーク研究センター, 研究マネジャー (00359069)
Project Period (FY) 2010 – 2012
Keywordsテラヘルツ / 遠赤外線 / ウェファボンディング / BIB検出器
Research Abstract

The Ge extrinsic photoconductor are among the most sensitive as well aslarge-formatted array detectors that are sensitive to the tera-herts wavebands and thus areapplicable for may scientific and industrial measurements. We have developed Ge BIBphotoconductor detectors by utilising the wafer-bonding technique and have confirmed the feasibilityof the large-scale low-cost fabrication of the photoconductor detectors potentially be sensitive to100--300μmwavebands.

  • Research Products

    (19 results)

All 2013 2012 2011 2010

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (13 results)

  • [Journal Article] Low-Temperature Bonding Technologies fbr Photonics Applications, ECS Transactions, Semiconductor Wafer Bonding l2:Science2013

    • Author(s)
      Eiji Higurashi
    • Journal Title

      Technology, and Applications

      Volume: voL50, no.7 Pages: 351-362

    • DOI

      DOI:10.1149/05007.0351ecst

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Mechanical and Electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • Author(s)
      Yuta Sasaki, Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • Journal Title

      Proceedings of the Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging and lst IMAPS ALL Asia Conference(ICEP-IAAC 2012)

      Pages: 254-258

    • URL

      http://www.inemi.org/events/icep-iaac-2012

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • Author(s)
      日暮栄治、須賀唯知
    • Journal Title

      スマートプロセス学会誌

      Volume: 第1巻、第3号 Pages: 106-113

    • URL

      https://www.jstage.jst.go.jp/article/j

  • [Journal Article] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • Author(s)
      佐々木優太、王農礒、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寳迫巌
    • Journal Title

      2011年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      Pages: 39

    • URL

      http://rnavindLgo.jp/books/2012/09/000011291622.php

  • [Journal Article] 遠赤外線検出器応用をめざしたGeウェハの常温直接接合2011

    • Author(s)
      日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、土井靖生、寳迫巌
    • Journal Title

      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会センサ・マイクロマシン部門)

      Pages: 328-333

    • URL

      http://jglobal.jst.go.jp/public/20090422/20110224161496269

  • [Journal Article] Wafer-bonded Ge:Ga blocked-impurity-band far-infrared detectors, Proceedings of Infセared Millimeter and Terahertz Waves(IRMMW-THz)2010

    • Author(s)
      Sawayama, YりDoi, Y., Kurayama, R., Higurashi, E., Patrashin, M., Hosako,
    • Journal Title

      201035th International Conference on In-ared, Millimeter and Terahertz

      Pages: 1-2

    • DOI

      DOI:10.1109/ICIMW.2010.5612767

  • [Presentation] Low-Temperature Bonding Technologies fbr Photonics Applications2012

    • Author(s)
      Eiji Higurashi
    • Organizer
      12th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding:Science, Technology and ApPlications,222th Electrochemical Society Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Hilton Hawaiian Village Hotel and Hawaii Convention Center(アメリカ)
    • Year and Date
      20121007-20121012
  • [Presentation] Terahertz detect・rs and its targeted applications2012

    • Author(s)
      lwao Hosako
    • Organizer
      the GDR-1 Semiconductors sources and detectors of THz radiation WorkshoP
    • Place of Presentation
      Hotel Montana, Tignes,France
    • Year and Date
      20120424-27
  • [Presentation] Mechanical and Electrical Characteristics of Direct Bonded Ge/Ge interface2012

    • Author(s)
      Yuta Sasaki, Wang Chenxi, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Yasuo Doi, Iwao Hosako
    • Organizer
      Joint Conference of 12th International Conference on Electronics Packaging and lst IMAPS ALL Asia Conference
    • Place of Presentation
      Tokyo,Japan
    • Year and Date
      20120417-20
  • [Presentation] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • Author(s)
      日暮栄治
    • Organizer
      第196回有機エレクトロニクス材料研究会
    • Place of Presentation
      早稲田大学研究開発センター(東京)
    • Year and Date
      2012-10-05
  • [Presentation] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • Author(s)
      日暮栄治
    • Organizer
      第4回MEMS実装・パッケージングフォーラム(財団法人マイクロマシンセンター)
    • Place of Presentation
      東京ビックサイト(東京)
    • Year and Date
      2012-07-12
  • [Presentation] 低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用2012

    • Author(s)
      日暮栄治
    • Organizer
      社団法人日本オプトメカトロニクス協会光センシング技術部会平成24年度第1回技術部会
    • Place of Presentation
      機械振興会館(東京)
    • Year and Date
      2012-06-22
  • [Presentation] 遠赤外線検出器応用をめざしたGeウェハの常温直接接合2011

    • Author(s)
      日暮栄治、倉山竜二、王英輝、須賀唯知、澤山慶博、上井靖生、寳迫巌
    • Organizer
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会センサ・マイクロマシン部門)
    • Place of Presentation
      東京・タワーホール船堀
    • Year and Date
      20110926-27
  • [Presentation] Geウェハ常温接合界面の機械的・電気的特性評価2011

    • Author(s)
      佐々木優太、王農礒、日暮栄治、須賀唯知、土井靖生、寳迫巌
    • Organizer
      2011年度精密工学秋季大会
    • Place of Presentation
      金沢大学
    • Year and Date
      20110920-22
  • [Presentation] ウェファボンディングによる遠赤外線BIB型Ge:Ga検出器の開発(4)2011

    • Author(s)
      澤山慶博
    • Organizer
      日本天文学会2011年春季年会
    • Place of Presentation
      筑波大学
    • Year and Date
      2011-03-17
  • [Presentation] テラヘルツイメージング・分光技術の現状と将来2010

    • Author(s)
      寳迫巌
    • Organizer
      防衛技術シンポジウム
    • Place of Presentation
      グランドヒル市ヶ谷新館
    • Year and Date
      2010-11-19
  • [Presentation] テラヘルツ波センシングの現状と超高速無線への展望2010

    • Author(s)
      寳迫巌
    • Organizer
      第4回超高速フォトニクスシンポジウム
    • Place of Presentation
      早稲田大学西早稲田キャンパス
    • Year and Date
      2010-11-04
  • [Presentation] ウェファボンディングによる遠赤外線Ge:GaBIB型検出器の開発(3)2010

    • Author(s)
      澤山慶博
    • Organizer
      日本天文学会2010年秋季年会
    • Place of Presentation
      金沢大学
    • Year and Date
      2010-09-24
  • [Presentation] Wafer-bondedGe:Ga blocked-impurity-band far-infrareddetectors2010

    • Author(s)
      Yoshihiro Sawayama
    • Organizer
      IRMMW-THz 2010
    • Place of Presentation
      ローマ (イタリア)
    • Year and Date
      2010-09-06

URL: 

Published: 2014-08-29  

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