2012 Fiscal Year Annual Research Report
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22360061
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
江龍 修 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10223679)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | 元素ドーピング / 刃物センサ |
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| Research Abstract |
本年度成果は下記の2種類に大別できる
１：刃物用単結晶SiC製造の為のドーピング元素効果
純チタン、純アルミニウムをターゲットに、無歪表面形成を目的として、結晶成長時に元素点火を行った。目的は、結晶の劈開を少なくすることである。数種類の元素を試し、下記の結果を得た。１－１ チタンドーピング：劈開は極めて少なくなる。一方、摩耗性が高くなり、刃物としては適さない状態となった。１－２ 鉄ドーピング：劈開は完全には抑えられないが、純粋な単結晶に比べると、格段にへき開しにくくなる。ダイヤモンドワイヤーソーによる結晶スライス時のカッティングひずみは10μm以内に抑えられ、刃具として適切なドーピング元素の一つと考える。
２：単結晶刃先そのものを加工センサとして形状化した。具体的には、単結晶刃先とロウ付けを行った超硬材料の双方に電極を形成し、シリコンカーバイドの圧電性を利用して、加工時に信号を取り出した。切り込み深さによって出力信号が変わることを確認できたが、目標とした「信号量と加工深さの線形性の実現」までには至らなかった。主原因は加工機（旋盤）のモーターノイズが出力信号に重畳していることが挙げられる。得られた成果を元に、ロックインアンプ等を用いた出力信号取り出しを試みている。超硬台座は金属であるため、容易にオーミック電極を形成できる。シリコンカーバイド側にはオーミック電極を得ることが出来なかったことも、センサとしての線形性を阻害するものであった。鉄元素をドーピングすることによって電子状態が大きく変わっており、単結晶シリコンカーバイドに対するオーミック電極材料とは異なる材料の探査が必要である。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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