2010 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ駆動機構を持つ針状磁気抵抗効果プローブによる低侵襲・非破壊計測の開発
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22360163
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
山田 外史 金沢大学, 環日本海域環境研究センター, 教授 (80019786)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
上野 敏幸 金沢大学, 電子情報学系, 准教授 (30338256)
柿川 真紀子 金沢大学, 環日本海域環境研究センター, 助教 (10359713)
原田 真市 金沢大学, 医学系, 助教 (90272955)
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| Keywords | マイクロセンサ / マイクロ駆動 / 超磁歪 / 低侵襲 / 非破壞検査 |
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| Research Abstract |
本年度の研究は,新規の針形状の磁気センサプローブを設計製作し,そのマイクロ駆動機構を検討した。また,低侵襲な生体内磁気計測等の応用を目的に初年度の基礎研究を遂行した。
(1) 針状GMRセンサの特性向上ならびに構成の検討
本研究関連の共有特許を持つTDK(株)と共同研究を行い,GMRセンサの感度向上を主目的とした設計・製作を実施して,高感度の針形状GMRプローブを完成させた。高感度とアクチュエータでの駆動のため軽量化(3g)を達成した。特性の詳細を測定,今後の応用の資料を得た。
(2) 針形状プロープのマイクロ駆動機構の検討
針形状プローブを目的にリニア駆動の超小形の磁歪アクチュエータを製作し,特性を測定した。スムーズインパクト駆動によるステップ動作により,駆動ストローク12mm, 1ステップ長0.8-0.9μm, 2-3%の結果を得た。
(3) 低侵襲な生体内磁気検査と電子工学分野での応用開発
(1) 免疫学的検査法での針状磁気プローブの検討
本研究では,液層での免疫学的検査法への応用を目指して,プラスチックポリマーをウイルスのモデルとした磁気微粒子の付着による周波数特性を計測し,1μm-10μmのポリマー粒子の違いを検出できた。
(2) プリント基板上の電流検出
電子分野への針形状磁気プローブの応用として,高密度プリント基板上の配線電流の値の計測について行った。100μm幅の配線の電流の値を他の配線かちのクロストークを10%以内,100μA-1mAまで計測できることが明らかになった。
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