2012 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ駆動機構を持つ針状磁気抵抗効果プローブによる低侵襲・非破壊計測の開発
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22360163
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
山田 外史 金沢大学, 環日本海域環境研究センター, 教授 (80019786)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
柿川 真紀子 金沢大学, 環日本海域環境研究センター, 助教 (10359713)
上野 敏幸 金沢大学, 電子情報学系, 准教授 (30338256)
原田 真市 金沢大学, 医学系, 助教 (90272955)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | マイクロセンサ / 磁気抵抗効果素子 / マイクロ駆動 / 磁気微粒子検出 / 低侵襲 / 免疫学的検査法 / 非破壊検査 / うず電流探傷 |
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| Research Abstract |
本年度の研究は，GMRセンサを実装した針形状プローブによる磁界計測への誤差評価とともに，計測時の駆動機構を検討した。また，応用として非破壊計測（うず電流探傷，微小電流計測）ならびに磁性微粒子の生体計測応用に関して磁気計測の計測範囲の検討を行った。
(1) 針状GMRセンサの特性向上ならびに構成の検討 GMRセンサを実装した針形状磁気プローブのセンサ配置，針形状による計測感度，誤差をミクロな磁界解析により検討し，針形状による誤差が1.0 ％以内であることが明らかになった。また，針搭載の超磁歪アクチュエータ，うず電流探傷用のプローブを製作し，特性測定に供した。
(2) 針形状プローブのマイクロ駆動機構の検討 針形状プローブを目的にリニア駆動の超小形の磁歪アクチュエータを製作し，特性を測定した。スムーズインパクト駆動によるステップ動作により，駆動ストローク12 mm, 1ステップ長 0.8-0.9 um，2-3 % の結果を得た。
(3) 生体内磁気検査と非破壊検査での応用開発 ①針状磁気プローブによる医療用磁性微粒子の濃度計測－免疫学的検査法やガン誘導加温における磁性微粒子の実用的な意味での濃度計測法，その誤差，計測限界について検討し，1.0 mg/CC(0.1 wt%)が可能であることを示した。 ②プリント基板上の電流検出－電子分野への針形状磁気プローブの応用として，高密度プリント基板上の配線電流の値の計測について行った。100 um幅の配線の電流の値をクロストークを10 %以内,0.1-1.0 mAまで計測ができた。③狭空間内の微細キズのうず電流探傷法の検討－針形状磁気センサで構成したうず電流探傷プローブを用いて，円筒穴の内部のキズに対してうず電流探傷を検討した。円筒穴内部のキズをプローブを穴内部に挿入して走査することで傷信号の検出を可能にした。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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