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2011 Fiscal Year Annual Research Report

不純物を添加した高2次電子放出金属酸化物薄膜に関する研究

Research Project

Project/Area Number 22560014
Research InstitutionRyukoku University

Principal Investigator

山本 伸一  龍谷大学, 理工学部, 教授 (70399260)

Keywords有機金属塗布熱分解法(MOD法) / 金属酸化物 / 高2次電子放出薄膜 / アークプラズマガン / APG: Arc Plasma Gun / Fe微粒子 / MgO薄膜 / 保護膜
Research Abstract

有機金属塗布熱分解法(MOD法)は、製膜時に真空環境を必要としない。MOD法を用いて金属酸化物を製膜することで、環境に優しい高品質・省エネルギー電子デバイスを作製することを提案する。低放電開始電圧(高2次電子放出薄膜)とするためにはエネルギーギャップ内に準位を形成する必要がある。準位の形成には不純物を注入する手法が一般的であるが、新準位を持つための不純物注入で、低温結晶化できることもわかってきた。新準位の機能を合わせ持った高機能性薄膜は、プラズマディスプレイパネルの放電開始電圧を低くすることが可能である。また、この金属酸化物は無機エレクトロルミネッセンスの蛍光層を挟む絶縁体層に用いることもできる。気相成長法の1つにアークプラズマガン(APG)がある。APGとは、アーク放電によりプラズマを発生させてイオン化された金属微粒子を基板上に堆積させて成膜する方法である。アーク放電は、高温度の陰極から熱電子から放出されることで維持される種類の放電であり、グロー放電に比べて陰極での電圧降下が少ない特徴がある。Fe微粒子を使用して薄膜にすることでより特性が向上する可能性を考え、気相成長法の1つのアークプラズマガン(APG)を用いてFe微粒子を基板上に堆積させた後に、MgO薄膜の作製を行った。APGは、アーク放電によりイオン化された金属微粒子を基板上に堆積させて成膜する。MgO/Fe微粒子薄膜を作製し評価を行った結果、MgO/Fe微粒子(50、100shot)薄膜においてMgOの結晶性がMgO薄膜と比べて向上することが確認できた。また、500shot以上になるとFe微粒子が薄膜を形成することから、MgOと反応しMgOの特性に影響を及ぼすことが分かった。Fe微粒子を微量堆積させた後に、MgOを成膜することで特性を向上させることが可能であることが明らかとなった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

保護膜中にカーボンナノチューブ(CNT)を微量注入することで、単結晶成長することがわかってきた。CNTがMgO薄膜へ与える高結晶化度への影響を調べてきた。CNTは薄膜の耐エッチング強度を増すだけでなく、高アスペクト比を持つことから電界強度が高く、2次電子放出を上げる働きもある。

Strategy for Future Research Activity

添加物の一種であるカーボンナノチューブ(CNT)、カーボンナノコイル(CNC)、MgOナノ粒子等を入れたMgO薄膜の利点は、より2次電子放出係数が高くなり、電子を空間内に効率よく放出可能であることである。よって環境・エネルギー変換ナノ構造マテリアル薄膜が作製可能となる。例えば、光電子放出された電子の放出が放電空間内の場合、プラズマディスプレイパネル(PDP)の駆動電圧を低電圧にすることが可能となることで、スパッタされない(削れない)保護膜を作製することが出来る。また、より高効率にすることで、省エネ効果や産業ニーズに応えることができる。これらの研究成果を早急に見極めることにより、次世代PDPに必要な研究技術を確立する。

  • Research Products

    (27 results)

All 2012 2011

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (23 results)

  • [Journal Article] Surface Potential of Magnesium Oxide Thin Films Prepared by Metal Organic Decomposition MOD2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Journal Title

      Transactions of Materials Research Society of Japan, No.2, 2011

      Volume: Vol.36 Pages: 201-206

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Static and Dynamic Observation of Supermolecular Protein, Ferritin, Using High-Speed Atomic Force Microscope2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: vol109 Pages: "034901-1"-"034901-5"

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Formation of a Molecular Wire using the Chemically Adsorbed Monomolecular Layer Having Pyrrolyl Groups2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Journal Title

      Journal of Nanotechnology

      Volume: Volume 2011 Pages: 560830-8

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Design Synthesis and Characterization of Self-assembled Peptide Nanostructures toward Peptide-directed Biomineralization2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Journal Title

      Chem.Lett.

      Volume: Vol.40 Pages: 699-701

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] アークプラズマガンを用いた金属微粒子層を有するMgO薄膜の結晶成長2012

    • Author(s)
      小管浩揮
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] MOD法を用いて作製したMgO薄膜の微粒子の影響2012

    • Author(s)
      桜川康志
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] MOD法を用いて作製したエピタキシャル強誘電体薄膜の評価2012

    • Author(s)
      梶村恵子
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] ウェットプロセスを用いてスパッタ膜上に成膜した2層構造MgO薄膜の評価2012

    • Author(s)
      金森翼
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] CaF_2粒子入りの高結晶MgO薄膜の吸湿性制御2012

    • Author(s)
      岡威樹
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] 超微粒子を用いたTiO2薄膜の結晶化2012

    • Author(s)
      金子晋也
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] 窒化炭素薄膜の白色発光素子への応用に向けた発光特性評価2012

    • Author(s)
      佐竹聖樹
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] CNC-MgO複合化材料の結晶化と光電子放出特性2012

    • Author(s)
      中川拓哉
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] ハイブリッド構造を用いた無機ELの開発2012

    • Author(s)
      野中俊宏
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] Ti電極上に配置したコバルトナノ微粒子の固体表面吸着2012

    • Author(s)
      板倉聡之
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      20120315-20120318
  • [Presentation] Epitaxial Growth of MgO Thin Films using Nanoparticles by MOD Method2011

    • Author(s)
      Y.Ohashi
    • Organizer
      21th MRS-J Academic Symposium
    • Place of Presentation
      横浜情報文化センター(神奈川県)
    • Year and Date
      20111220-20111222
  • [Presentation] Polymerization of Monomolecular Layer Containing Pyrrolyl Groups by a Chemical Adsorbed Technique2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Organizer
      The 19 the International Colloquium on Scanning Tunneling Micrroscopy (ICSPM19)
    • Place of Presentation
      洞爺湖万世閣(北海道)
    • Year and Date
      20111219-20111221
  • [Presentation] Fe微粒子を堆積させたMgO薄膜の特性評価2011

    • Author(s)
      小管浩揮
    • Organizer
      第8回薄膜材料デバイス研究会
    • Place of Presentation
      龍谷大学(京都府)
    • Year and Date
      20111104-20111105
  • [Presentation] MgO薄膜の吸湿性の評価2011

    • Author(s)
      岡威樹
    • Organizer
      第8回薄膜材料デバイス研究会
    • Place of Presentation
      龍谷大学(京都府)
    • Year and Date
      20111104-20111105
  • [Presentation] 多層カーボンナノチューブと金属酸化物薄膜の複合機能化2011

    • Author(s)
      中川拓哉
    • Organizer
      第8回薄膜材料デバイス研究会
    • Place of Presentation
      龍谷大学(京都府)
    • Year and Date
      20111104-20111105
  • [Presentation] MOD法によるMgZnO薄膜の結晶化向上2011

    • Author(s)
      川口泰司
    • Organizer
      平成23年電気関係学会関西連合大会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学(兵庫県)
    • Year and Date
      20111029-20111030
  • [Presentation] MOD法によるTiO_2+Nb_2O_5混合物薄膜の作製と評価2011

    • Author(s)
      金子晋也
    • Organizer
      平成23年電気関係学会関西連合大会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学(兵庫県)
    • Year and Date
      20111029-20111030
  • [Presentation] ウェットプロセス法を用いて作製した強誘電体薄膜の評価2011

    • Author(s)
      梶村恵子
    • Organizer
      平成23年電気関係学会関西連合大会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学(兵庫県)
    • Year and Date
      20111029-20111030
  • [Presentation] MgO粒子を用いたMgO薄膜の低温作製2011

    • Author(s)
      桜川康志
    • Organizer
      平成23年電気関係学会関西連合大会
    • Place of Presentation
      兵庫県立大学(兵庫県)
    • Year and Date
      20111029-20111030
  • [Presentation] カーボンナノチューブを分散させたMgO薄膜の作製2011

    • Author(s)
      中川拓哉
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形県)
    • Year and Date
      20110829-20110902
  • [Presentation] MgO微粒子を用いたMgO薄膜の特性評価2011

    • Author(s)
      大橋義信
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形県)
    • Year and Date
      20110829-20110902
  • [Presentation] 平面電極構造をもつ分散型無機EL素子の発光特性2011

    • Author(s)
      野中俊宏
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形県)
    • Year and Date
      20110829-20110902
  • [Presentation] Direct Observation of Supermolecular, Ferritin, Behavior on a Silicon Surface using High-Speed Atomic Force Microscopy2011

    • Author(s)
      S-I.Yamamoto
    • Organizer
      European Conference on Surface Science
    • Place of Presentation
      Polands
    • Year and Date
      20110828-20110902

URL: 

Published: 2013-06-26  

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