2012 Fiscal Year Annual Research Report
大気圧グロー放電プラズマを利用した酸化亜鉛薄膜の高速大面積作製技術開発
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22560113
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| Research Institution | Kagawa University |
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Principal Investigator |
須崎 嘉文 香川大学, 工学部, 教授 (60206456)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | 大気圧低温プラズマ / 成膜方法 / 酸化亜鉛 |
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| Research Abstract |
液晶ディスプレィや太陽電池などの大面積化、あるいは、タッチパネルの普及に伴い、例えば透明で導電性のある薄膜を大面積に安価に作製する方法が求められている。ところが一般的成膜に用いるグロー放電プラズマの発生には真空装置が必要であることから装置が高価になり、その内部での成膜工程は低価格化のネックとなっている。この問題解決には真空装置を用いないことが一番である。そこで我々はこれまでに、大気圧開放下でグロー放電プラズマを発生するトーチを開発し、そのプラズマに原材料を導入することで酸化亜鉛（ZnO）薄膜を作製できる装置を設計試作した。大気圧開放下での成膜システムである事を利用して、大面積に均一に薄膜を作製することを目的としている。
平成24年度については、スリット幅を100 mmに拡大した装置について、端から端までの均一成膜を完成した。昨年度の、ガス流れについて流体用計算ソフト（フェニックス）を用いた理論計算結果をもとに設計試作、改良したプラズマトーチを用いた。連続薄膜が可能であった。走査型電子顕微鏡（FE-SEM）を用いた薄膜表面微視組織の観察、および、AFMを用いた薄膜試料表面の原子オーダーの形状測定を行った。電気伝導度、および、透過率の測定は現有の装置を用いて評価を行った。結果として、均一膜厚さの薄膜が得られることがわかり、大面積成膜について可能なことがわかった。成膜速度の向上については課題が残った。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(11 results)
