2012 Fiscal Year Annual Research Report
ＣＷレーザー誘起ナノトレンチ構造の“かたち”機能を用いた表面改質
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22560131
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| Research Institution | Kanagawa Industrial Technology Center |
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Principal Investigator |
金子 智 神奈川県産業技術センター, その他部局等, 研究員 (40426359)
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| Project Period (FY) |
2010-10-20 – 2013-03-31
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| Keywords | 微細加工 / ナノ構造 / レーザー照射 |
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| Research Abstract |
CWレーザーの高速スキャンによるナノ周期構造を作製する技術の研究である。シリコン基板表面を分速300mでスキャンすることで500nmから800nmの周期構造が自己成長することを確認した。当初は赤外線と可視光線の同時照射により、構造が自己成長していたが、可視光のみの場合や紫外線でもナノ構造成長の可能性を見いだした。紫外線を用いることで、ガラスなどの透明な材料への効率の良い微細加工が可能となる。また、レーザー照射による材料の温度上昇分布を有限要素により評価し、微細構造の自己成長には材料の溶融時間にしきい値があることを示した。しかし、紫外線を用いた場合は溶融しない照射条件でも微細構造が成長していることを確認した。成果の普及として論文雑以外に月刊誌と学協会誌にそれぞれ2本の紹介記事を掲載した。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(8 results)
