• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2010 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発

Research Project

Project/Area Number 22560134
Research InstitutionIbaraki University

Principal Investigator

清水 淳  茨城大学, 工学部, 准教授 (40292479)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 周 立波  茨城大学, 工学部, 教授 (90235705)
小貫 哲平  茨城大学, 工学部, 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 工学部, 講師 (90375361)
山本 武幸  茨城大学, 工学部, 技術職員 (40396594)
Keywords掘起し / 引っかき / 光触媒 / 酸化チタン / 陽極酸化 / 振動
Research Abstract

本研究では,除菌や洗浄などへの応用展開が期待されている光触媒機能の格段の向上を実現するため,純チタン板のトライボ加工によって得られる,ナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャの陽極酸化による,バインダレス高機能光触媒膜を開発する.平成22年度は,所有の3軸加工機上で,ダイヤモンド圧子工具を用い,微小なサイン波を重畳させた軌跡を用いた引っかきにより,微小な溝と掘起しによる表面凹凸が無数に存在する表面テクスチャを純チタン板上に創成するため,次に示す内容について検討した.1)高周波微小振動工具ホルダの製作:ピエゾアクチュエータ駆動方式のFTS(Fast Tool Servo)によりミクロンないしサブミクロンレベルの振幅の振動を切込み深さ方向に付加して,深さおよび幅,掘起し高さの異なる引っかき溝創成のための微小振動切込み制御システムを導入したので,それを3軸加工機に固定するためのホルダを製作した.さらに,微小振動切込み制御システムを搭載し,動作の確認を行った.2)微小振動切込み制御プログラムの作成:工具の微小振動切込みをコンピュータ制御するためのプログラムを作成し,数条件の微小振動について動作を確認した.3)掘起しダイヤモンド工具の製作:初期先端半径100nmの単結晶ダイヤモンド圧子を軟鋼上で摩擦してフラッシングすることにより,耐摩耗性を向上させた引っかき子を製作した.4)マイクロ掘起しテクスチャの創成実験:3軸加工機上でFTSシステムに単結晶ダイヤモンド引っかき子を把時させ,数ミクロン振幅の振動を深さ方向に印加しつつ,ミスト潤滑下で高速引っかき加工し,純チタン板上にマイクロ掘起しテクスチャを創成し,安定したマイクロ掘起し溝を得るための加工条件と課題を明らかにした.

  • Research Products

    (13 results)

All 2011 2010 Other

All Journal Article (10 results) (of which Peer Reviewed: 10 results) Presentation (2 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Deformation and Material Removal in a Nanoscale Multi-layer Thin Film Solarpanel Using Nanoscratch2011

    • Author(s)
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou
    • Journal Title

      International Journal Machine Tools & Manufacture

      Volume: Vol.51 Pages: 182-189

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography2010

    • Author(s)
      W. Ohsone, J. Shimizu, L. Zhou, H. Ojima, T. Onuki, T. Yamamoto, H. Huang
    • Journal Title

      Advanced Materials Research

      Volume: Vols.126-128 Pages: 843-848

    • DOI

      DOI:10.4028/www.scientific.net/AMR.126-128.843

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Molecular Dynamics Simulation of Rubbing Phenomena in Ultra-Precision Abrasive Machining2010

    • Author(s)
      J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto, H. Huang
    • Journal Title

      Key Engineering Materials

      Volume: Vol.443 Pages: 417-422

    • DOI

      doi:10.4028/www.scientific.net/KEM.443.417

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010

    • Author(s)
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
    • Journal Title

      Journal of Computational and Theoretical Nanoscience

      Volume: Vol.7 Pages: 2165-2170

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Single Crystal Si Wafer2010

    • Author(s)
      Hidenori Takahashi, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
    • Journal Title

      Key Engineering Materials

      Volume: Vols.447-448 Pages: 106-110

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement-Noise Reduction by Wavelet Transform-2010

    • Author(s)
      Masashi Ono, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu
    • Journal Title

      Key Engineering Materials

      Volume: Vols.447-448 Pages: 544-548

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Tifanium Dioxide Film by Surface Texturing2010

    • Author(s)
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang
    • Journal Title

      Materials Science Forum

      Volume: Vols.654-656 Pages: 1784-1787

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Two Dimensional Ultrasonic Vibration Assisted Chemo-Mechanical Grinding of Si wafer2010

    • Author(s)
      WANG Zhen Zhong, Y. WU, L. ZHOU, GUO Yin Biao, WU Chen Xu
    • Journal Title

      Advanced Materials Research

      Volume: Vols.126-128 Pages: 282-288

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement-Noise reduction by lifting scheme wavelet transform-2010

    • Author(s)
      Kazutaka Nonomura, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima
    • Journal Title

      Advanced Materials Research

      Volume: Vols.126-128 Pages: 544-548

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010

    • Author(s)
      Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
    • Journal Title

      Advanced Materials Research

      Volume: Vols.126-128 Pages: 701-706

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2011

    • Author(s)
      清水淳
    • Organizer
      International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
    • Place of Presentation
      Hyatt Regency Perth, Australia
    • Year and Date
      2011-12-07
  • [Presentation] Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)2010

    • Author(s)
      周立波
    • Organizer
      砥粒加工学会
    • Place of Presentation
      岡山大学工学部
    • Year and Date
      2010-08-26
  • [Remarks]

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/Profiles/5/0000414/profile.html

URL: 

Published: 2013-06-26  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi