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2011 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ結晶シリコン列における準弾道輸送現象の解明

Research Project

Project/Area Number 22560296
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

森 伸也  大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (70239614)

Keywords半導体 / シリコン / ナノ結晶 / 量子輸送 / シミュレーション / トンネル / 弾道輸送 / インパクトイオン化
Research Abstract

本研究では,ナノ結晶シリコン列における準弾道電子輸送に対する完全3次元理論を構築し,準弾道輸送現象の解明を行うことを目的とする.従来の単純化した1次元モデルを,(1)3次元空間における電子輸送,(2)一般的な配列のナノ結晶シリコン列,(3)インパクトイオン化散乱の取り込みという点において一般化する.この一般化により,準弾道輸送現象の物理的なメカニズムを解明すると同時に,ナノ結晶シリコンデバイス応用に向けて,電子放出の量子効率や放出電子の角度分布など,デバイス設計に必要な物理量の理論値を得ることを目的とする.
本年度は,(2)および(3)に関して,一様歪みのある系および原子配置乱れのある系におけるインパクトイオン化確率の計算を行った,一様圧縮歪みの場合,ナノ結晶シリコンの禁止帯が狭くなると同時に,高エネルギーにおける状態密度が低下することが分かった.前者はしきい値を低下させることによりインパクトイオン化確率を増加させる.一方,後者はインパクトイオン化確率を減少させる.モンテカルロシミュレーションの結果,しきい値低下の効果が勝り,圧縮歪みにより,雪崩増倍が増加することが分かった.
さらに,実際のナノ結晶シリコンを模擬するため,分子動力学に基づく熱酸化シミュレーションを用いて,乱れたナノ結晶シリコンモデルを構築し,インパクトイオン化確率の計算を行った.熱酸化シミュレーションにより得られた原子配置モデルでは,平均的には引っ張り歪みとなることが分かった.しかし,一様歪みの場合とは異なり,乱れの影響のため,バンド端付近・禁止帯内に状態が生じ,結果的にインパクトイオン化のしきい値が低下することが分かった.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究では,(1)3次元空間における電子輸送,(2)一般的な配列のナノ結晶シリコン列,(3)インパクトイオン化散乱の取り込みという点において一般化することを目的としているが,(2)および(3)に関してはおおむね完了しており,(1)に関しても一部着手しているため.

Strategy for Future Research Activity

平成24年度は,結合量子ドット系に関する3次元の波動方程式からトンネル時間の運動エネルギー依存性を算出する.そこで得られた結果と,平成23年度までに得られたインパクトイオン化確率および乱れの効果を取り込んだ計算を行うことにより,電子放出の量子効率や放出電子の角度分布(放出電子の角度分布の計算にも波動関数が必要である)などデバイス設計に必要な物理量を算出すると同時に,ナノ結晶シリコン列における準弾道輸送現象の本質を明らかにする.

  • Research Products

    (5 results)

All 2012 2011

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (4 results)

  • [Journal Article] Strain effects on avalanche multiplication in a silicon nanodot array2012

    • Author(s)
      N.Mori, H Minari, S.Uno, H.Mizuta, N.Koshida
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 51(印刷中)

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 乱れたナノ結晶シリコンにおけるインパクトイオン化率2012

    • Author(s)
      森 伸也,富田将典,三成英樹,渡邉孝信,越田信義
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学早稲田キャンパス
    • Year and Date
      20120315-18
  • [Presentation] ナノシリコン列における光励起キャリアの雪崩増倍2011

    • Author(s)
      森 伸也,三成英樹,宇野重康, 水田 博,越田信義
    • Organizer
      第72回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      山形大学小白川キャンパス
    • Year and Date
      20110829-0902
  • [Presentation] Strain effects on avalanche multiplication in a silicon nanodot array2011

    • Author(s)
      N.Mori, H Minari, S.Uno, H.Mizuta, N.Koshida
    • Organizer
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      ウインク愛知
    • Year and Date
      2011-09-29
  • [Presentation] Impact ionization and avalanche multiplication in a silicon nanodot array2011

    • Author(s)
      N.Mori, H Minari, S.Uno, H.Mizuta, N.Koshida
    • Organizer
      17th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructures
    • Place of Presentation
      Santa Barbara, California, USA
    • Year and Date
      2011-08-09

URL: 

Published: 2013-06-26  

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