2012 Fiscal Year Annual Research Report
低誘電率・高Ｑを持つ次世代ミリ波用誘電体の研究開発
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22560673
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| Research Institution | 公益財団法人名古屋産業科学研究所 |
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Principal Investigator |
大里 斉 公益財団法人名古屋産業科学研究所, その他部局等, 研究員 (20024333)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
籠宮 功 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40318811)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | ミリ波誘電体 / 高Q 高品質係数 / 低誘電体損失 / 温特ゼロ / インディアライト/コーディエライト / 結晶化ガラス / 国際研究者交流 |
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| Research Abstract |
これまで、コーディエライト組成のガラスから、結晶化ガラスミリ波誘電体を作製した。コーディエライトの多形であるインディアライトを主とするセラミックスが得られ、ロスの少ない高Qf>200000GHz、低誘電率er = 4.7、共振周波数の温度係数TCf = -27 ppm/oCの特性の優れた次世代ミリ波誘電体を作製した。しかし、このガラスセラミックスは、表面からの結晶化で極めて異方性が強いものであった。コーディエライトは、低熱膨張で知られ、c-軸方向にマイナス、a-軸方向へプラスの熱膨張をもつ。表面失透でc-軸方向に伸長した結晶が垂直にぶつかる点でクラックを発生、割れが生じた。冷却速度を調整して大きなクラックは避けることができて、ミリ波誘電特性は測定可能であった。しかし、細かいクラックは避けることができず、品質係数に大きなバラツキを与えていた。
本研究では、この細かいクラックをも無くす目的で、ルチルを核形成剤として用い、ボリュウム結晶化を目指した。ルチルを10、20wt%添加したガラスを作製し、結晶化ガラスを得た。SEM観察で微細なクラックを抑えることができ、ミリ波誘電体特性も優れたものが得られた。品質係数Qf=120000GHz、温特TCf= 0 ppm/oC、誘電率7。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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