2011 Fiscal Year Annual Research Report
コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング
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22560719
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
奥谷 昌之 静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
村上 健司 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
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| Keywords | 平面プラズマ / 製膜 / ダイレクトパターニング / 酸化亜鉛 / 酸化スズ |
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| Research Abstract |
1.プラズマエネルギーの制御
プラズマエネルギーは櫛型金属グリッドの太さとギャップの大きさに依存することから、これを参考に高エネルギーが発生するグリッドパターンを新規電極により検討した。また、高周波アンプによりプラズマの発生状態や強度の周波数依存性を検討した。さらに、電極用誘電体セラミックスを従来のアルミナから、誘電率の高いジルコニアへ変更することにより、昨年度に記録した最大エネルギーに比べ、約2倍大きいプラズマエネルギーを発生させることが可能になった。
2.製膜用冶具の改良
昨年度までの固定型製膜方式を改良し、製膜時に基板を回転させることでプラズマエネルギーの供給を基板全体で均質にすることに成功した。
3.酸化スズの製膜
昨年度までに当初の目的であった酸化亜鉛膜の単相化に成功した。このため、本研究の汎用性を見るために、酸化スズの製膜に取り掛かった。製膜時に0.3Tの磁場を印加することにより、プラズマの空間的拡がりを制御し、従来以上に効率的に基板へエネルギーを供給することが可能になった。現状では、正方晶と立方晶の混晶状態であるため、単相化が課題として残った。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
当初目的としていた酸化亜鉛の単相化に続き、酸化スズの製膜にも応用できることが示された。また、磁場印加によるエネルギー制御も示されたため、おおむね順調に進展していると考えられる。
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| Strategy for Future Research Activity |
形成される平面プラズマの分解能が、現在のところ0.1mm程度であることから、電極用グリッドの外注を検討している。また、酸化スズの単相化には、雰囲気制御により対処する予定である。
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