2010 Fiscal Year Annual Research Report
電子線誘起蒸着法による酸化物ナノ構造の作製とその物性評価
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22560727
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| Research Institution | Saitama Institute of Technology |
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Principal Investigator |
下条 雅幸 埼玉工業大学, 先端科学研究所, 教授 (00242313)
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| Keywords | ナノ材料 / 電子顕微鏡 / センサー |
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| Research Abstract |
目的の金属元素を含む有機金属化合物ガスを基板上に極少量流し、そこへ細く収束した電子ビームを照射することで、ガスを分解し、局所的に蒸着を行う方法は電子線誘起蒸着(EBID)法と呼ばれ、目的の場所へサイズや形状を制御してナノ構造を作製できる方法として有望である。申請者らは、この方法を用いて、金属や酸化物ナノ構造を作製してきたが、その中で最近、酸化モリブデン・ナノワイヤーにおいて、半導体特性があり光センサーやガスセンサーとして使用できることを見出した。また、このようなセンサーとして利用できる性質は、他のナノ構造でも作製できる可能性がある。
そこで本研究では、このナノ構造の作製方法を制御し特性を最適化するとともに、他の元素のナノ構造を作製して、ナノセンサー作製技術の確立をめざす。
本年度は、電子ビームのスキャン回路を購入し、EBID装置の一部改良を行った。それを制御するソフトウエアも自主開発した。この装置を金ナノ粒子試料に対して用い、金ナノ粒子の光センサーとしての特性を検討した。また、ナノワイヤーの温度や環境を制御しながら電流一電圧特性を測定する装置一式(環境セル、電源、微小電流計、真空ポンプ、ヒーター等)を開発し、微小電流測定に対するノイズ対策を行い、炭素ナノワイヤーにおいて電流一電圧特性が測定できることを確認した。今後は、これを用いてセンサーに使えるナノワイヤーの特性を測定していく予定である。
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