2011 Fiscal Year Annual Research Report
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22656144
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| Research Institution | University of Yamanashi |
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Principal Investigator |
柳 博 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 准教授 (30361794)
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| Keywords | 太陽電池 / 再生可能エネルギー / セラミックス |
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| Research Abstract |
昨年度に作製したCuInO_2高密度をターゲットに用いたRFマグネトロンスパッタリング法によりCuInO_2配向膜の作製に取り組んだ。基板には石英ガラスやサファイア(c面)単結晶などを用いた。CuInO_2薄膜を得られる条件は確立しつつあるが、as-deposited薄膜において配向膜を得ることは現在のところできていない。配向性の制御には基板温度と酸素分圧が重要であると考えるが、製膜時に温度を上げると膜が分解する問題が生じた。加えて組成ずれを生じている可能性があることから加熱製膜は止め、同装置を用いて室温製膜し、ポストアニールにより配向膜を得る実験を試みた。この結果c軸に配向した膜の作製条件は確立したが、基板面に対してc軸が平行になるような配向膜は得られていない。PLD法を用いた予備実験では、酸素分圧の制御により基板面に対してCuInO_2のc軸を垂直あるいは水平になった配向膜を得ることができたことから、ポストアニール過程における酸素分圧の精密な制御が必要になるものと思われる。一方PLD法を用いてサファイアc面上に製膜したCuInO_2のc軸が基板面に垂直あるいは水平になるような配向をした薄膜について電気・光学特性の評価を行ったところ配向の違いによるバンドギャップの変化が認められたが、電気特性の評価は電気伝導度が低すぎて評価を行うことができず、ある程度導電性を示す試料作製が今後の課題である。
本研究で得られた結果はSTAC-5や日本セラミックス協会秋季シンポジウムで発表を行った。
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