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2011 Fiscal Year Annual Research Report

レーザー誘起局所加熱と温度分布制御によるガラス内部の組成分布変化現象の解明

Research Project

Project/Area Number 22750187
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

坂倉 政明  京都大学, 次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ, 特定専門業務職員 (90402958)

Keywordsガラス / レーザー加工 / 組成分布制御 / 液晶空間光変調器 / フェムト秒レーザー / 温度圧力分布 / 熱拡散シミュレーション
Research Abstract

本研究では、ガラスの組成の空間分布を制御することによって機能性を向上する技術を確立するために、フェムト秒レーザーパルスの集光照射によってガラス内部の溶融領域で起こる組成分布変化の制御因子を見出すことを目的とした。制御因子はガラスの構成元素、熱的性質、温度分布、圧力分布と考えられ、それぞれの効果を明らかにする必要がある。本年度では、(1)空間光変調器を用いた多点同時レーザー照射によって複雑な温度分布を形成し、温度分布が及ぼす元素分布の影響を詳細に調べ、(2)元素拡散のシミュレーションにより、元素が温度分布に従って移動する物理的要因と構成元素の組み合わせ・温度分布・移動方向の関係を調査した。
(1)多点同時レーザー照射により多数の熱源を作るだけでなく、異なる繰返し周波数のレーザーを組み合わせることにより、温度勾配の空間分布を制御し溶融領域の形状を制御することに成功した。急峻な温度勾配は低い繰返し周波数で照射することにより作ることができるが、冷却速度が非常に速く溶融状態を保つことができなかった。そこで、高い繰返し照射を同時に組み合わせることで温度を高く保つ方法を開発し、溶融領域の形状制御の自由度が向上した。具体的には、鋭い頂点を持つ多角形を生じるような組成分布を作成することに成功した。また、急峻な温度勾配によって対流を引き起こし、特定の元素が局所的に集まることも見出した。
(2)1年目の研究により明らかにしたレーザー照射中の温度分布を用いて二成分系のガラス中での熱駆動拡散方程式のシミュレーションを行い、ガラスを構成するアニオンとの結合強度が強い元素が高温側に移動することが明らかになった。このことにより、添加する元素をうまく選べば、望みの元素を特定の場所に集められるようになり、その具体例として、相対的にアニオンとの結合強度の弱いInを加えることにより通常は低温側へ移動するBa2+イオンを高温領域に集めることに成功した。

  • Research Products

    (13 results)

All 2012 2011

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 7 results) Presentation (4 results)

  • [Journal Article] Laser-induced transient stress distribution inside a single crystal by time-resolved birefringence imaging2012

    • Author(s)
      T. Tochio, M. Sakakura, S. Kanehira, Y. Shimotsuma, K. Miura, K. Hirao
    • Journal Title

      Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing(LAMOM) XVII

      Pages: 82430E-82430E-8

    • DOI

      DOI:10.1117/12.908186

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Three-dimensional temperature distribution and modification mechanism in glass during ultrafast laser irradiation at high repetition rates2012

    • Author(s)
      Masahiro Shimizu, Masaaki Sakakura, 他5名
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 20 Pages: 934-940

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Control of material properties by parallel laser irradiations at multiple laser spots using a spatial light modulator2012

    • Author(s)
      Masaaki Sakakura, Takaya Tochio, 他6名
    • Journal Title

      Laser Applications in Microelectronic and Optelectronic Manufucturing (LAMOM) XVII, Proceedings of SPIE

      Volume: 8,243 Pages: UNSP824310

    • DOI

      10.1117/12.912752

  • [Journal Article] Control of element distribution in glass with femtosecond laser2012

    • Author(s)
      Masahiro Shimizu, Masaaki Sakakura, 他4名
    • Journal Title

      Laser-based Micro- and Nanopackaging and Assembly VI, Proceedings of SPI

      Volume: 8,244 Pages: UNSP82440O

    • DOI

      10.1117/12.906644

  • [Journal Article] Modification of long range order in germanate glass by ultra fast laser2011

    • Author(s)
      X. Wang, M. Sakakura, Y. Liu, JR. Qiu, Y. Shimotsuma, K. Hirao, and K. Miura
    • Journal Title

      Chemical Physics Letters

      Volume: Vol.511(4-6) Pages: 266-269

    • DOI

      DOI:10.1016/j.cplett.2011.06.063

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Improved phase hologram design for generating symmetric light spots and its application for laser-writing of waveguide2011

    • Author(s)
      Masaaki Sakakura, Tsutomu Sawano, 他3名
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: 36 Pages: 1065-1067

    • DOI

      10.1364/OL.36.001065

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Formation mechanism of element distribution in glass under femtosecond laser irradiation2011

    • Author(s)
      Masahiro Shimizu, Masaaki Sakakura, 他5名
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: 36 Pages: 2161-2163

    • DOI

      10.1364/OL.36.002161

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Observation of femtosecond laser induced stress wave and structural change inside a rock-salt crystal2011

    • Author(s)
      Masaaki Sakakura, Takaya Tochio, 他6名
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 19 Pages: 17780-17789

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Unexpected influence of focal depth on nucleation during femtosecond laser crystallization of glass2011

    • Author(s)
      Adam Stone, Masaaki Sakakura, 他5名
    • Journal Title

      Optical Material Express

      Volume: 1 Pages: 990-995

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Transient stress imaging inside single crystals after photoexcitation by a focused fs laser pulse2012

    • Author(s)
      坂倉政明, 杤尾孝哉, 他3名
    • Organizer
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(招待講演)
    • Year and Date
      2012-03-15
  • [Presentation] Control of element distribution in glass with femtosecond laser2012

    • Author(s)
      Masahiro Shimizu, Masaaki Sakakura, 他4名
    • Organizer
      Photonics West 2012
    • Place of Presentation
      The Moscone Center, San Fransisco, CA, USA
    • Year and Date
      2012-01-26
  • [Presentation] Control of material properties by parallel laser irradiations at multiple laser spots using a spatial light modulator2012

    • Author(s)
      Masaaki Sakakura, Takaya Tochio, 他6名
    • Organizer
      Photonics West 2012
    • Place of Presentation
      The Moscone Center, San Fransisco, CA, USA(招待講演)
    • Year and Date
      2012-01-25
  • [Presentation] Laser-induced transient stress distribution inside a single crystal by time-resolved birefringence imaging2012

    • Author(s)
      Takaya Tochio, Masaaki Sakakura, 他4名
    • Organizer
      Photonics West 2012
    • Place of Presentation
      The Moscone Center, San Fransisco, CA, USA
    • Year and Date
      2012-01-24

URL: 

Published: 2013-06-26  

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