2011 Fiscal Year Annual Research Report
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22760094
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| Research Institution | Chiba University |
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Principal Investigator |
比田井 洋史 千葉大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60313334)
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| Keywords | レーザ / 穴加工 / 深穴 / プラズマ / 分光測定 |
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| Research Abstract |
紫外線パルスレーザを照射した時,ある条件で,ガラス,シリコン,金属に対して従来に比べ約半分の細さ(φ7μm)で約2倍の高アスペクト比(100以上)の穴あけが可能になる現象がある.この現象について,ビームプロファイルの解析,溶融飛散物の観察などを通して,そのメカニズムを明らかにし,アスペクト比をより高めることを目的としている.
本年はプラズマの観察と溶融飛散物観察を行った.本実験ではNd:YVO_4レーザの第四高調波を使用し,試料には穴内部におけるプラズマの観察ができる透明なホウ珪酸ガラスを用いた
プラズマの観察では,プラズマの発生はレーザ光照射後20nsの時点で終了していることがわかった.穴内部においては,20ns間で475um拡散しているため,拡散速度は約24km/sだった.
穴加工時に発生する溶融飛散物を試料側面方向から観察した.飛散物に対して照明用のレーザ光を照射し発生する散乱光を高速度ビデオカメラにより観察した.照射回数1100から1500パルスの範囲で溶融飛散物が観察できた.加工が停止するのは照射回数1500パルス前後であるため,加工用レーザ光照射位置近傍に溶融飛散物が観察できたタイミングと一致した.よって,溶融飛散物が観察できた照射回数において飛散物によるレーザ光の遮蔽が発生し,その結果加工が停止したと推定できる.
さらに,貫通穴通過後におけるビームプロファイルの測定を行った.その結果,穴内部においてはプロファイルの違いは認められなかった.
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Research Products
(1 results)
