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2010 Fiscal Year Annual Research Report

MOSトランジスタの低ノイズ化へ向けたデバイス構造最適化

Research Project

Project/Area Number 22860004
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

黒田 理人  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40581294)

KeywordsCMOSイメージセンサ / MOSFET / シリコン / ノイズ / 1/fノイズ / Random Telegraph Signalノイズ
Research Abstract

CMOSイメージセンサの読出しノイズ低減による感度向上に向け、MOSFETの電荷の通り道であるチャンネルからトラップサイトが存在するゲート絶縁膜/シリコン界面付近の距離と、ノイズレベルとの相間を明らかにするため、チャンネル-界面距離を0~170nmまで条件を振ったn-channel MOSFETを作成し、ノイズレベルの評価を行った。平均的なノイズレベルの指標である1/fノイズは、CMOSイメージセンサのソースフォロワ回路の動作点付近でチャンネル-界面の距離とノイズ強度とに強い相間が確認され、チャンネル-界面距離を離したデバイスではチャンネル-界面距離が0nmである従来のデバイスと比べ、一桁以上のノイズ強度低減が可能であることが分かった。一方、チャンネル-界面距離を離した際の短チャンネル効果の増大を懸念していたが、ウェル濃度を従来のデバイスより約2倍程度高濃度化すると、従来のデバイスとほぼ同程度レベルまで抑制出来ることが分かった。この知見を元に、100万個を超えるトランジスタのノイズ信号を数秒間で統計的に評価可能な評価パターンを用いて、チャンネル-界面距離130nmのデバイスを評価したところ、同じノイズ強度を有するRandom Telegraph Signal(RTS)ノイズの発生頻度が、従来のデバイスと比べて約2桁削減出来ることが分かった。さらに、ソース・ドレイン電極の直列抵抗がドレイン電流値の比較的大きいバイアス条件下で1/fノイズ強度に影響を及ぼすことを発見し、ErSi_2シリサイドを用いた極低抵抗コンタクト電極をn-channel MOSFETに導入することで1/fノイズ強度を大幅に削減出来ることを示した。このように、短チャンネル効果を従来と同程度に保ちつつ、平均的・統計的にノイズ強度を低減するためのデバイス構造指針の大枠を得ることが出来た。

  • Research Products

    (12 results)

All 2011 2010

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (8 results)

  • [Journal Article] Impact of Channel Direction Dependent Low Field Hole Mobility on (100) Orientation Silicon Surface2011

    • Author(s)
      Rihito Kuroda
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50 Pages: 04DC03-1-04DC03-6

    • DOI

      10.1143/JJAP.50.04DC03

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Analysis of the Low-Frequency Noise Reduction in Si (100) Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors2011

    • Author(s)
      Phillip Gaubert
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50(印刷中)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Atomically Flattening Technology at 850 ℃ for Si (100) Surface2010

    • Author(s)
      Xiang Li
    • Journal Title

      Electrochemical Society Transactions

      Volume: 28 Pages: 299-309

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Impact of Work Function Optimized S/D Silicide Contact for High Current Drivability CMOS2010

    • Author(s)
      Yukihisa Nakao
    • Journal Title

      Electrochemical Society Transactions

      Volume: 28 Pages: 315-324

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] デュアルシリサイトを用いた低直列抵抗CMOSソース/トレイン電極形成技術2011

    • Author(s)
      黒田理人
    • Organizer
      電気学会電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      水上町
    • Year and Date
      2011-03-01
  • [Presentation] A prototype high-speed CMOS image sensor with 10,000,000 burst-frame rate and 10,000 continuous-frame rate2011

    • Author(s)
      Yasuhisa Tochigi
    • Organizer
      IS&T/SPIE Electronic Imaging
    • Place of Presentation
      San Francisco, U.S.A.
    • Year and Date
      2011-01-25
  • [Presentation] A robust color signal processing with wide dynamic range WRGB CMOS image sensor2011

    • Author(s)
      Shun Kawada
    • Organizer
      IS&T/SPIE Electronic Imaging
    • Place of Presentation
      San Francisco, U.S.A.
    • Year and Date
      2011-01-25
  • [Presentation] High reliable SiO_2 Films on Atomically Flat Silicon Surface Formed by Low Temperature Pure Ar Annealing2011

    • Author(s)
      Xiang Li
    • Organizer
      International Workshop on Dielectric Thin Films For Future Electron Devices : Science and Technology
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2011-01-20
  • [Presentation] Ultra-low Series Resistance W/ErSi_2/n^+-Si and W/Pd_2Si/p^+-Si S/D Electrodes for Advanced CMOS Platform2010

    • Author(s)
      Rihito Kuroda
    • Organizer
      IEEE International Electron Device Meeting
    • Place of Presentation
      San Francisco, U.S.A.
    • Year and Date
      2010-12-08
  • [Presentation] Large Scale Test Circuits for Systematic Evaluation of Variability and Noise of MOSFETs' Electrical Characteristics2010

    • Author(s)
      Yuki Kumagai
    • Organizer
      2010 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2010-09-23
  • [Presentation] Drastic reduction of the low frequency noise in Si (100) p-MOSFETs2010

    • Author(s)
      Phillip Gaubert
    • Organizer
      2010 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2010-09-22
  • [Presentation] Impact of Channel Direction Dependent Low Field Hole Mobility on Si (100)2010

    • Author(s)
      Rihito Kuroda
    • Organizer
      2010 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2010-09-22

URL: 

Published: 2013-06-26  

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