シリコンの結晶すべりと疲労過程の３因子その場解析に向けたマイクロトーションテスト

2023 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 22K03826
• Research Institution: Nagoya Institute of Technology
• Principal Investigator: 神谷 庄司 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00204628)
• Project Period (FY): 2022-04-01 – 2025-03-31
• Keywords: silicon / fatiue / crystal slip / micro-torsion device

Outline of Annual Research Achievements

昨年度に引続き疲労試験デバイスの作製を行った。
３年計画の初年度である昨年2022年度には、まず計画された研究のプラットフォームとなる疲労試験デバイスの詳細設計を行い、具体的な製作プロセスについて京都大学ナノテクノロジーハブ拠点と綿密な協議を繰返した。そして最終的に設定されたフローに従い、2023年度初頭に実際の作製作業に着手した。しかし実作業においては、作業中のウェハの破損等予期しなかったトラブルがいくつも発生し、特に駆動用のエネルギー変換器として機能するピエゾ膜のエッチング作業においてパターンを転写するためのレジストが発生する熱に耐えられないことが新たに判明した。
このような状況であっても、計画の遂行のためにはデバイスの作製を回避する選択肢はあり得ず、とにかく一つずつ問題を克服する以外に道がなかった。このため、当初予定したよりもはるかに多くの時間をデバイスの製作プロセスに費やさざるを得ず、2023年度末時点においてもいまだ道半ばの状況となっている。
一方、必要となるプロセス要素のほとんどは2023年度において既に経験済となっており、出現し得るトラブルはほとんど出尽くしたと考えられるまでに到達している。従って、次の2024年度に遭遇し得る困難は存在したとしてもこれまで以上に大きいものとは思い難く、経験を通して蓄積されたノウハウを駆使することで、今後比較的速やかにプロセスを完遂できる見通しが立つ状況に至るまでの実績が得られたと考えられる。

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

デバイスの製作過程で数々の予期せぬトラブルに遭遇し、都度改善を重ねながら進行しているため、当初予定よりも製作に要する期間が長くなっている。

Strategy for Future Research Activity

必要となるプロセス要素のほとんどは2023年度において既に経験済となっており、出現し得るトラブルはほとんど出尽くしたと考えられるところにまで到達している。従って、次の2024年度に遭遇し得る困難は存在したとしてもこれまで以上に大きいものとは考えにくく、経験を通して蓄積されたノウハウを駆使して今後速やかにプロセスを完遂し、疲労試験デバイスの完成と実験観察着手を目指す。

Causes of Carryover

次年度繰越はありません。