2023 Fiscal Year Research-status Report
UVレーザ援用ダイヤモンド切削によるSiCの微細複合加工
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22K04764
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| Research Institution | Kanagawa University |
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Principal Investigator |
由井 明紀 神奈川大学, 工学部, 教授 (70532000)
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| Project Period (FY) |
2022-04-01 – 2026-03-31
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| Keywords | UVレーザ / ダイヤモンド工具 / 単結晶ダイヤ / 複合加工 / SiC / 加工能率 / 表面性状 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
SiCに対して，UVレーザを用いた光化学反応とダイヤモンド工具による微細切削加工の複合加工を行い，UVレーザ援用効果を確認することを目的としている．
1年目の2022年度に続き，2023年度は
１）レーザ光とダイヤモンド工具のずれを正確に補正する技術を確立した．
２）レーザ光の焦点をSiC方向にオフセットすることにより，より有効にレーザ援用できることを明らかにした．
３）砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2023米子）において，研究内容の講演発表を行った．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
2023年3月に研究室が移動になり，3か月程度研究が停止した．その影響があり，研究の進行状況はやや遅れている．
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| Strategy for Future Research Activity |
１）単結晶SiCの切削加工を行い，切削抵抗を測定する.
２）単結晶SiCのUVレーザ加工を行い，表面性状を確認する．
３）単結晶SiCのUVレーザ援用加工を行い，切削抵抗を測定するとともに表面性状を確認する．
４）昨年度の研究成果を砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2024長岡）にて発表する．
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| Causes of Carryover |
昨年度からの繰り越しのため
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