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2011 Fiscal Year Annual Research Report

化合物半導体ナノワイヤによる光デバイス応用

Research Project

Project/Area Number 23221007
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (S)

Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

福井 孝志  北海道大学, 情報科学研究科, 教授 (30240641)

Keywords半導体ナノワイヤ / 発光ダイオード / 太陽電池
Research Abstract

1.結晶成長:異種基板上の半導体ナノワイヤ成長の新たな研究として、23年度は、主にグラフェン及び薄層グラファイト上のナノワイヤ成長の検討を進めた。異種接合面での格子整合条件の整ったInAsが、自己触媒型VLSモードで成長することが明らかとなった。SP2のグラファイトとSP3のInAs(111)A面は格子定数が一致するためファンデルワールス結合が支配的となるエピタキシャル成長モードが確認された。単層グラフェン上ではさらに、上下両方向に成長する様子が電子顕微鏡で確認された。また、InP基板上のInPナノワイヤにおいては、結晶構造解析も進め、結晶成長条件によりセン亜鉛鉱型からウルツ鉱型に結晶の対称性が変わることも見出した。さらにガラス基板上へのLEDを支える基礎技術としてのポリシリコン上のIII-V半導体ナノワイヤの成長を開始し、成長方向制御、均一性向上に努めた。
2.発光素子応用:これまでGaAs系ナノワイヤを用いて赤外領域のLEDを作製してきたが、新たに可視領域(赤色)での発光を目指したGaInP系のナノワイヤ成長を試み、均一なワイヤが得られる条件を明らかにした。
3.ナノワイヤ太陽電池:効率的に電子・正孔を分離できるコアシェルpn接合型太陽電池の作製と評価を進めた。InP系では、AlInPパッシベーション層の効果により内部量子効率が大幅に改善されるとともに、エネルギー変換効率も向上することが明らかとなった。また、必要な内部効率の測定に必要な装置を23年度に導入した。さらに、年度途中で、透明電極(ITO)とナノワイヤの間が高抵抗であることを突き止めた。この改善にはTi薄膜の堆積が有効と考えて、次年度に予算を繰り越す形でTiのスパッタ装置を導入した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

(23年度の一部予算の繰越のため、報告は24年度末までを含めた。)
1.結晶成長:異種基板上の半導体ナノワイヤ成長として、23年度から開始したガラス基板上へのLEDを支える基礎技術としてのポリシリコン上のIII-V半導体ナノワイヤの成長方向(垂直)制御、均一性向上の技術を確立した。また、ナノワイヤのフレキシブルデバイス応用のための技術として、これまでの実験で基板の選択成長用開口径を小さくすることでワイヤアレイが部分的ではあるが剥離できることが確認した。
2.発光素子応用:マルチカラーLEDの試作を目的に、GaP系のナノワイヤ選択成長技術の改良を進めた。GaPは結晶構造がセン亜鉛鉱からウルツ鉱に変わることで発光素子に適した直接遷移型半導体となる。これまでにウルツ鉱型の得られるInPナノワイヤをコアとして、側壁にウルツ鉱型GaPシェル層を成長させることができた。発光特性などの評価を今後すすめる。
3.ナノワイヤ太陽電池:効率的に電子・正孔を分離できるコアシェルpn接合型太陽電池の作製と評価を進めた。InP系では、AlInPパッシベーション層の効果により内部量子効率が大幅に改善されるとともに、エネルギー変換効率も3.54%から6.35%に向上することが明らかとなった。さらに、将来のタンデム構造を目指してGaAs系でもコアシェルナノワイヤ太陽電池を試作した。同様にInGaP3元混晶層をパッシベーション層に用いることで4.01%のエネルギー変換効率が得られた。
4.ナノワイヤトランジスタ:光デバイスと関連する研究としてトランジスタの研究も併せて進めた。InAs縦型サラウンディングゲートトランジスタをシリコン基板上に作製し、高効率のトランジスタが得られた。結果はNature8月号に掲載された。

Strategy for Future Research Activity

23年度の一部予算の繰越のため、内容は25年度以降の研究推進方策とした。
結晶成長では、引き続き異種基板上のナノワイヤ成長の展開を進める。フレキシブルデバイス応用のための成長技術として、ナノワイヤ構造を基板から剥離し、より柔軟性のある基板に貼り付けることが出来るとフレキシブルデバイス作製技術の確立をはかる。次に発光素子応用では、GaPの結晶構造をウルツ鉱型に変える技術として、既にウルツ鉱型が得られているInPなのワイヤをコアとしてGaInP、AlGaPなどを横方向成長技術によりシェル層とする結晶成長技術を確立する。また横方向量子井戸構造の作製により、主に可視光域の波長可変の発光素子を作製する。ナノワイヤ太陽電池の研究では、これまでのコアシェルpn接合構造から、縦方向pn接合構造に変えることで、将来的にタンデム型(多層構造)のナノワイヤ太陽電池を目指す。この構造では、より幅広く太陽光波長を吸収できることから、超高効率が予測されている。またナノワイヤの応用を光デバイスに限定せずに、縦型FET及びトンネルFETなどの構造を挟ギャップ半導体であるInAsなのワイヤを用いるとともにシリコン基板上に作製する。

  • Research Products

    (36 results)

All 2012 2011 Other

All Journal Article (13 results) (of which Peer Reviewed: 12 results) Presentation (21 results) (of which Invited: 6 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] van der Waals Epitaxy of InAs Nanowires Vertically Aligned on Single-Layer Graphene2012

    • Author(s)
      Young Joon Hong, Wi Hyoung Lee, Yaping Wu, Rodney S. Ruoff, and Takashi Fukui
    • Journal Title

      NANO LETTERS

      Volume: 12 Pages: 1431-1436

    • DOI

      10.1021/nl204109t

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Vibrational modes of GaAs hexagonal nanopillar arrays studied with ultrashort optical pulses2012

    • Author(s)
      Hirotaka Sakuma, Motonobu Tomoda, Paul H. Otsuka, Osamu Matsuda, Oliver B. Wright, Takashi Fukui, Katsuhiro Tomioka, and Istvan A. Veres
    • Journal Title

      APPLIED PHYSICS LETTERS

      Volume: 100 Pages: 131902-1-3

    • DOI

      10.1063/1.3696380

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Position-Controlled III–V Compound Semiconductor Nanowire Solar Cells by Selective-Area Metal–Organic Vapor Phase Epitaxy2012

    • Author(s)
      Takashi Fukui, Masatoshi Yoshimura, Eiji Nakai, Katsuhiro Tomioka
    • Journal Title

      AMBIO: A Journal of the Human Environment

      Volume: 41 Suppl. 2 Pages: 119–124

    • DOI

      10.1007/s13280-012-0266-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Energy state of InGaAs quantum dots on SiO2-patterned vicinal substrate2012

    • Author(s)
      Hyo Jin Kim, Junichi Mothohisa and Takashi Fukui
    • Journal Title

      Nanoscale Research Letters

      Volume: 7 Pages: 1-5

    • DOI

      10.1186/1556-276X-7-104

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Longitudinal and transverse exciton-spin relaxation in a single InAsP quantum dot embedded inside a standing InP nanowire using photoluminescence spectroscopy2012

    • Author(s)
      Sasakura, H.; Hermannstaedter, C.; Dorenbos, S. N.; Akopian, N.; van Kouwen, M. P.; Motohisa, J.; Kobayashi, Y.; Kumano, H.; Kondo, K.; Tomioka, K.; Fukui, T.; Suemune, I.; Zwiller, V.
    • Journal Title

      PHYSICAL REVIEW B

      Volume: 85 Pages: 075324-1-7

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.85.075324

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 半導体ナノワイヤデバイス応用の新展開2012

    • Author(s)
      冨岡 克広、福井 孝志
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 81 Pages: 59-64

  • [Journal Article] Growth and Characterization of a GaAs Quantum Well Buried in GaAsP/GaAs Vertical Heterostructure Nanowires by Selective-Area Metal Organic Vapor Phase Epitaxy2011

    • Author(s)
      S. Fujisawa, T. Sato, S. Hara, J. Motohisa, K. Hiruma, and T. Fukui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys

      Volume: 50 Pages: 04DH03-1-6

    • DOI

      10.1143/JJAP.50.04DH03

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Polarized photoluminescence from single wurtzite InP/InAs/InP core-multishell nanowires2011

    • Author(s)
      Masumoto, Y. Hirata, Y. Mohan, P. Motohisa, J. Fukui, T
    • Journal Title

      APPLIED PHYSICS LETTERS

      Volume: 98 Pages: 211902-1-3

    • DOI

      10.1063/1.3592855

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Controlled van derWaals Heteroepitaxy of InAs Nanowires on Carbon Honeycomb Lattices2011

    • Author(s)
      Y.-J. Hong and T. Fukui
    • Journal Title

      ACS NANO

      Volume: 5 Pages: 7576-7584

    • DOI

      10.1021/nn2025786

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ferromagnetic MnAs Nanocluster Composites Position-Controlled on GaAs (111)B Substrates toward Lateral Magnetoresistive Devices2011

    • Author(s)
      K. Komagata, S. Hara, S. Ito, and T. Fukui
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 50 Pages: 06GH01-1-6

    • DOI

      10.1143/JJAP.50.06GH01

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] III-V Nanowires on Si Substrate: Selective-Area Growth and Device Applications (Invited)2011

    • Author(s)
      K. Tomioka, T. Tanaka, S. Hara, K. Hiruma, and T. Fukui
    • Journal Title

      IEEE J. Select. Topics Quan. Electron.

      Volume: 17 Pages: 1112-1129

    • DOI

      10.1109/JSTQE.2010.2068280

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Selective-area growth of III-V nanowires and their applications (review paper)2011

    • Author(s)
      K. Tomioka, K. Ikejiri, T. Tanaka, J. Motohisa, S. Hara, K. Hiruma, and T. Fukui
    • Journal Title

      J. Mater. Res.

      Volume: 26 Pages: 2127-2141

    • DOI

      10.1557/jmr.2011.103

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Zinc Blende and Wurtzite Crystal Phase Mixing and Transition in Indium Phosphide Nanowires2011

    • Author(s)
      K. Ikejiri, Y. Kitauchi, K. Tomioka, J. Motohisa, and T. Fukui
    • Journal Title

      Nano Lett.

      Volume: 11 Pages: 4314-4318

    • DOI

      10.1021/nl202365q

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] III-V compound semiconductor nanowires and their electrical and optical applications2011

    • Author(s)
      T. Fukui, M. Yoshimura, E. Nakai and K. Tomioka
    • Organizer
      The 7th International Conference on Advanced Materials and Devices
    • Place of Presentation
      Ramada Plaza JeJu Hotel(Korea)
    • Year and Date
      20111207-20111209
    • Invited
  • [Presentation] Vertical In0.7Ga0.3As Nanowire Surrounding-Gate Transistors with High-k Gate Dielectric on Si Substrate2011

    • Author(s)
      K. Tomioka, M, Yoshimura, and T. Fukui
    • Organizer
      2011 IEEE International Electron Devices Meeting
    • Place of Presentation
      Hilton Washington(USA)
    • Year and Date
      20111205-20111207
  • [Presentation] Controlled van der Waals heteroepitaxy of InAs nanowires on carbon honeycomb lattices2011

    • Author(s)
      Y. J. Hong and T. Fukui
    • Organizer
      MRS Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Haynes Convention Center, Boston(USA)
    • Year and Date
      20111129-20111202
  • [Presentation] Characterization of InP nanowire array solar cells using selective-area metal-organic vapor phase epitaxy2011

    • Author(s)
      M. Yoshimura, E. Nakai, K. Tomioka, and T. Fukui
    • Organizer
      MRS Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Haynes Convention Center, Boston(USA)
    • Year and Date
      20111128-20111202
  • [Presentation] Integration of InGaAs/InP/InAlAs Core-Multishell Nanowire-Based Surrounding-Gate Transistors on Si Substrate2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka, Masatoshi Yoshimura, and Takashi Fukui
    • Organizer
      MRS 2011 Fall meeting
    • Place of Presentation
      Haynes Convention Center, Boston(USA)
    • Year and Date
      20111128-20111202
  • [Presentation] Mechanism on structural transition of InP nanowires by selective-area MOVPE2011

    • Author(s)
      K. Ikejiri, Y. Kitauchi, K. Tomioka, J. Motohisa, and T. Fukui
    • Organizer
      2011 Materials Research Society Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Haynes Convention Center, Boston(USA)
    • Year and Date
      20111128-20111202
  • [Presentation] Fabrication and Optical Property of GaAs Nanowire Array for Solar Cell Applications2011

    • Author(s)
      E. Nakai, M. Yoshimura, K. Tomioka and T. Fukui
    • Organizer
      the 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Place of Presentation
      ANAホテル(京都市)
    • Year and Date
      20111024-20111027
  • [Presentation] Fabrication of Vertical In0.7Ga0.3As Nanowire Surrouding-Gate Transistors with High-k Gate Dielectric on Si Substrate2011

    • Author(s)
      K. Tomioka, M. Yoshimura, T. Fukui
    • Organizer
      24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Place of Presentation
      ANAホテル(京都市)
    • Year and Date
      20111024-20111027
  • [Presentation] Fabrication of III-V Nanowire-based Surrounding-Gate Transistors on Si Substrate2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka, Junichi Motohisa, Shinjiroh Hara, Takashi Fukui
    • Organizer
      the 220th Electrochemical Society Meeting
    • Place of Presentation
      Haynes Convention Center, Boston(USA)
    • Year and Date
      20111009-20111014
    • Invited
  • [Presentation] Heteroepitaxy of vertical InAs nanowires on thin graphitic films2011

    • Author(s)
      Y. J. Hong and T. Fukui
    • Organizer
      the 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      愛知県産業労働センター(名古屋市)
    • Year and Date
      20110928-20110930
  • [Presentation] Integration of InGaAs nanowire vertical surrounding-gate transistor on Si2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka, Masatoshi Yoshimura, Takashi Fukui
    • Organizer
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      愛知県産業労働センター(名古屋市)
    • Year and Date
      20110928-20110930
  • [Presentation] Tunnel Field-Effect Transistors using InAs Nanowire/Si Heterojunction2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka and Takashi Fukui
    • Organizer
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      愛知県産業労働センター(名古屋市)
    • Year and Date
      20110928-20110930
  • [Presentation] Growth of GaAs Nanowires on Poly-Si by Selective-Area MOVPE2011

    • Author(s)
      K. Ikejiri, K. Tomioka, S. Imai, and T. Fukui
    • Organizer
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      愛知県産業労働センター(名古屋市)
    • Year and Date
      20110928-20110930
  • [Presentation] Compound-Semiconductor Nanowire Solar Cells2011

    • Author(s)
      T. Fukui, M. Yoshimura, E. Nakai and K. Tomioka
    • Organizer
      9th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics
    • Place of Presentation
      長良川国際会議場(岐阜市)
    • Year and Date
      20110828-20110831
    • Invited
  • [Presentation] Tunnel field-effect transistor using InAs nanowire/Si heterojunction2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka and Takashi Fukui
    • Organizer
      The 15th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications
    • Place of Presentation
      Ramada Plaza JeJu Hotel(Korea)
    • Year and Date
      20110705-20110708
  • [Presentation] Integration of InGaAs Nanowires-based vertical surrounding-gate FETs on Si2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka, Masatoshi Yoshimura, Junichi Motohisa, Shinjiroh Hara, and Takashi Fukui
    • Organizer
      The 15th International Symposium on the Physics of Semiconductors and Applications
    • Place of Presentation
      Ramada Plaza JeJu Hotel(Korea)
    • Year and Date
      20110705-20110708
  • [Presentation] III-V semiconductor nanowires and their electronics and photonic device applications2011

    • Author(s)
      T. Fukui, M. Yoshimura, E. Nakai and K. Tomioka
    • Organizer
      Japan-Sweden QNANO Workshop
    • Place of Presentation
      Clarion Hotel Visby (Sweden)
    • Year and Date
      20110612-20110614
    • Invited
  • [Presentation] Semiconductor nanowires and their photovoltaic applications2011

    • Author(s)
      T. Fukui, M. Yoshimura, and K. Tomioka
    • Organizer
      JSPS-RSAS Joint Conference on Capturing the Sun
    • Place of Presentation
      Royal Swedish Academy of Science, Stockholm(Sweden)
    • Year and Date
      20110530-20110531
    • Invited
  • [Presentation] Fabrication of InP Nanowire Array Solar Cells using Selective-Area Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy2011

    • Author(s)
      M. Yoshimura, K. Tomioka, E. Nakai, and T. Fukui
    • Organizer
      JSPS-RSAS Joint Conference “Capturing the Sun”
    • Place of Presentation
      Royal Swedish Academy of Science, Stockholm(Sweden)
    • Year and Date
      20110530-20110531
  • [Presentation] Fabrication and Characterization of GaAs Nanowires on Poly-Si by Selective-Area MOVPE2011

    • Author(s)
      K. Ikejiri, K. Tomioka, S. Imai, and T. Fukui
    • Organizer
      The 38th International Symposium on Compound Semiconductors
    • Place of Presentation
      Maritim pro Arte Hotel, Berlin(Germany)
    • Year and Date
      20110522-20110526
  • [Presentation] III-V Semiconductor Nanowires on Si: Selective Area MOVPE and Their Device Applications2011

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka, Junichi Motohisa, Shijiroh Hara, Kenji Hiruma, and Takashi Fukui
    • Organizer
      MRS spring meeting
    • Place of Presentation
      San Fransisco's Moscone West Convention Hall(USA)
    • Year and Date
      20110426-20110429
    • Invited
  • [Book] Semiconductor Nanowire and Their Optical Applications, edited by G-C. Yi2012

    • Author(s)
      Katsuhiro Tomioka and Takashi Fukui
    • Total Pages
      36
    • Publisher
      Wiley
  • [Remarks] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センターホームページ

    • URL

      http://www.rciqe.hokudai.ac.jp/index.html

URL: 

Published: 2014-07-24  

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