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2011 Fiscal Year Annual Research Report

ハーフメタルと高移動度半導体の高品質ヘテロ構造の製作と半導体スピン輸送特性の研究

Research Project

Project/Area Number 23246055
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

山本 眞史  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授 (10322835)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 植村 哲也  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (20344476)
松田 健一  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助教 (80360931)
Keywordsスピントロニクス / ハーフメタル / 高移動度半導体 / ヘテロ構造 / スピン輸送特性
Research Abstract

本研究の目的は、本質的に大きなスピン偏極率を有するハーフメタル材料のCo基ホイスラー合金と、高移動度半導体チャネル(Ge等)を融合する高品質エピタキシャルヘテロ構造の実現を通して、次世代半導体スピントロニクスデバイスの基盤を構築することである。平成23年度は、Ge基板上へのハーフメタルCo_2MnSi電極を用いたMTJのエピタキシャル成長を実証すると共に、強磁性CoFe電極/MgOバリア/n-Geトンネル接合におけるスピン輸送現象に関して、以下の知見を明らかにした。
(1)GeチャネルFETと強磁性トンネル接合(MTJ)のモノリシック集積による不揮発、超低消費電力を特徴とする論理回路が有望である。このために、Ge(001)基板上に、MgOバッファ層を介した、CoFe下部電極/MgOバリア/CoFe上部電極の層構造からなるCoFe MTJのエピタキシャル成長を実証した。さらに、上部CoFe電極をハーフメタルCo_2MnSi電極に置き換えたCoFe下部電極/MgOバリア/CoFe極薄層(1。1 nm)/Co_2MnSi上部電極の層構造からなるCo_2MnSi MTJのエピタキシャル成長を実証した。また、MgOバッファ層(10 nm)上のCoFe MTJおよびCo_2MnSi MTJに対して、室温でそれぞれ218%および310%の高いTMR比を実証した。
(2)Ge基板に対するPのイオン注入によりn型Geチャネル(チャネル厚み:100nm、電子濃度:2。7×10^<18>cm^<-3>)を形成し、このイオン注入基板を用いたエピタキシャルCoFe/MgOバリア/n-Geトンネル接合を作製した。さらに3端子配置デバイスにより、室温においてHanle型信号を観測すると共に、この信号の大きさがMgOトンネルバリアの厚みに対して、指数関数的依存性を示すことを明らかにした。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

Ge(001)基板上へのMgOバッファ層を介した。ハーフメタルCo_2MnSi電極を用いた強磁性トンネル接合(MTJ)のエピタキシャル成長と、室温での優れたMTJデバイス特性を実証した。さらに、イオン注入のnチャネルを有するGe基板上への強磁性CoFe電極/MgOトンネルバリア/n-Geトンネル構造のエピタキシャル成長を実現し、室温において3端子Hanle信号を観測すると共に、この信号の大きさがMgOトンネルバリアの厚みに対して、指数関数的依存性を示すことを明らかにした。

Strategy for Future Research Activity

前年度(平成23年度)、既存の超高真空スパッタチャンバーにGe MBE成長チャンバーを増設した。今後はGe MBE成長の自由度を活用し、高濃度層の挿入を含めてGe層構造の最適化を図る。このGe層構造に対して、真空一貫成長により、ハーフメタルホイスラー合金Co_2MnSiとMgOトンネルバリアを用いた、高品質エピタキシャルCo_2MnSi/CoFe極薄層/MgOバリア/n-Geヘテロ構造を実現し、最も厳密なスピン注入の証明となる非局所4端子Hanle効果を室温において実証する。

  • Research Products

    (41 results)

All 2012 2011

All Journal Article (8 results) (of which Peer Reviewed: 8 results) Presentation (33 results)

  • [Journal Article] Magnetometry of buried layers-linear magnetic dichroism and spin detection in angular resolved hard X-ray photoelectron spectroscopy2012

    • Author(s)
      A.Gloskovskii, G.Stryganyuk, G.H.Fecher, C.Felser, S.Thiess, H.Schulz-Ritter, W.Drube, G.Berner, M.Sing, R.Claessen, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena

      Volume: 185 Pages: 47-52

    • DOI

      10.1016/j.elspec.2011.11.005

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effect of MgO Barrier Insertion on Spin-Dependent Transport Properties of CoFe/n-GaAs Heterojunctions2012

    • Author(s)
      T.Akiho, T.Uemura, M.Harada, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys.

      Volume: 51 Pages: 02BM01-1-02BM01-5

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.51.02BM01

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Surface spin polarization of the nonstoichiometric Heusler alloy Co_2MnSi2012

    • Author(s)
      J.-P.Wustenberg, R.Fetzer, M.Aeschlimann, M.Cinchetti, J.Minar, Jurgen Braun, H.Ebert, T.Ishikawa, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Phys.Rev.B

      Volume: 85 Pages: 064407-1-064407-10

    • DOI

      DOI:10.1103/PhysRevB.85.064407

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Non-local detection of spin-polarized electrons at room temperature in Co_<50>Fe_<50>/GaAs Schottky tunnel junctions2011

    • Author(s)
      T.Uemura, T.Akiho, M.Harada, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Appl.Phys.Lett.

      Volume: 99 Pages: 082108-1-082108-3

    • DOI

      10.1063/1.3630032

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic dichroism in angle-resolved hard x-ray photoemission from buried layers2011

    • Author(s)
      X.Kozina, G.H.Fecher, G.Stryganyuk, S.Ouardi, B.Balke, C.Felser, G.Schonhense, E.Ikenaga, T.Sugiyama, N.Kawamura, M.Suzuki, T.Taira, T.Uemura, M.Yamamoto, H.Sukegawa, W.H.Wang, K.Inomata, K.Kobayashi
    • Journal Title

      Phys.Rev.B

      Volume: 84 Pages: 054449-1-054449-8

    • DOI

      DOI:10.1103/PhysRevB.84.054449

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Epitaxial growth of Heusler alloy Co_2MnSi/MgO heterostructures on Ge(001) substrates2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, K.-i.Matsuda, M.Arita, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Appl.Phys.Lett.

      Volume: 98 Pages: 262505-1-262505-3

    • DOI

      10.1063/1.3605675

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Suppression of in-plane tunneling anisotropic magnetoresistance effect in Co_2MnSi/MgO/n-GaAs and CoFe/MgO/n-GaAs junctions by inserting a MgO barrier2011

    • Author(s)
      T.Akiho, T.Uemura, M.Harada, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Appl.Phys.Lett.

      Volume: 98 Pages: 232109-1-232109-3

    • DOI

      10.1063/1.3595311

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Influence of GaAs surface structure on tunneling anisotropic magnetoresistance and magnetocrystalline anisotropy in epitaxial Co_<50>Fe_<50>/n-GaAs junctions2011

    • Author(s)
      T.Uemura, M.Harada, T.Akiho, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Journal Title

      Appl.Phys.Lett.

      Volume: 98 Pages: 102503-1-102503-3

    • DOI

      10.1063/1.3561759

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Co_2MnSiホイスラー合金を用いたGaAsへの電気的スピン注入および動的核スピン偏極の電気的検出2012

    • Author(s)
      秋保貴史, 植村哲也, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      2012-03-17
  • [Presentation] CoFe/MgO/Siにおけるスピン蓄積信号のMgO膜厚依存性2012

    • Author(s)
      植村哲也, 藤澤潤, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      2012-03-17
  • [Presentation] Spin-dependent transport characteristics of epitaxial magnetic tunnel junctions of CoFe/MgO/CoFe ultrathin layer/Co_2MnSi2012

    • Author(s)
      H.-x.Liu, Y.Honda, T.Taira, K.-i.Matsuda, T.Uemura, Y.Miura, M.Shirai, M.Yamamoto
    • Organizer
      2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      2012-03-16
  • [Presentation] Fabrication of fully epitaxial magnetic tunnel junctions with a Heusler alloy Co_2MnSi thin film and a MgO barrier on Ge(001) substrates2012

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      2012年(平成24年)春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京都)
    • Year and Date
      2012-03-16
  • [Presentation] Tunnel magnetoresistance in fully epitaxial CoFe/MgO/CoFe magnetic tunnel junctions on Ge(001) substrates via a MgO interlayer2012

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      5th Int'l Symposium on Global COE Program of Center for Next-Generation Information Technology Based on Knowledge Discovery and Knowledge Federation
    • Place of Presentation
      Hokkaido University (Sapporo)
    • Year and Date
      2012-01-16
  • [Presentation] Spin transport properties of fully epitaxial magnetic tunnel junctions of CoFe/MgO/CoFe ultrathin layer/Co_2MnSi2012

    • Author(s)
      H.-x.Liu, T.Taira, Y.Honda, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto, Y.Miura, M.Shirai
    • Organizer
      5th Int'l Symposium on Global COE Program of Center for Next-Generation Information Technology Based on Knowledge Discovery and Knowledge Federation
    • Place of Presentation
      Hokkaido University (Sapporo)
    • Year and Date
      2012-01-16
  • [Presentation] Spin-polarized transport in fully epitaxial CoFe/MgO/CoFe ultrathin layer/Co_2MnSi magnetic tunnel junction2012

    • Author(s)
      H.-x.Liu, Y.Honda, T.Taira, K.-i.Matsuda, T.Uemura, Y.Miura, M.Shirai, M.Yamamoto
    • Organizer
      2012年(平成24年)第47回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2012-01-06
  • [Presentation] Co_2MnSi/MgO/NbNヘテロ構造を用いたホイスラー合金Co_2MnSiのスピン偏極率評価2012

    • Author(s)
      篠木崇帆, 松田健一, 平智幸, 植村哲也, 山本眞史
    • Organizer
      2012年(平成24年)第47回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2012-01-06
  • [Presentation] Tunnel magnetoresistance in fully epitaxial CoFe/MgO/CoFe magnetic tunnel junctions on Ge(001) substrates via a MgO interlayer2012

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      2012年(平成24年)第47回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2012-01-06
  • [Presentation] Co_2MnSi/CoFe/n-GaAsにおけるスピン輸送と核磁場の検出2012

    • Author(s)
      秋保貴史, 原田雅亘, 植村哲也, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      2012年(平成24年)第47回応用物理学会北海道支部学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(札幌市)
    • Year and Date
      2012-01-06
  • [Presentation] Co_2MnSiを用いたGaAsへのスピン注入および動的核スピンの検出2011

    • Author(s)
      秋保貴史, 原田雅亘, 植村哲也, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      The 16^<th> Symposium on the Physics and Application of Spin-Related Phenomena in Semiconductors (PASPS-16)
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都)
    • Year and Date
      2011-11-29
  • [Presentation] Non-local electrical detection of Hanle signals in Co_2MnSi/Co_<50>Fe_<50>/n-GaAs Schottky tunnel junctions2011

    • Author(s)
      T.Akiho, T.Uemura, H.Harada, K.-i., Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      56th Annual Conf.on Magnetism & Magnetic Materials
    • Place of Presentation
      The JW Marriott Desert Ridge (USA)
    • Year and Date
      2011-11-03
  • [Presentation] Almost identical oscillations in tunneling resistances as a function of barrier thickness for parallel and antiparallel configurations for fully epitaxial magnetic tunnel junctions with a MsO barrier2011

    • Author(s)
      Y.Honda, S.Hirata, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      56th Annual Conf.on Magnetism & Magnetic Materials
    • Place of Presentation
      The JW Marriott Desert Ridge (USA)
    • Year and Date
      2011-11-02
  • [Presentation] Spin-dependent transport properties of fully epitaxial magnetic tunnel junctions of CoFe/MgO/CoFe ultrathin layer/Co_2MnSi2011

    • Author(s)
      H.-x.Liu, T.Taira, Y.Honda, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto, Y.Miura, M.Shirai
    • Organizer
      56th Annual Conf.on Magnetism & Magnetic Materials
    • Place of Presentation
      The JW Marriott Desert Ridge (USA)
    • Year and Date
      2011-11-01
  • [Presentation] Fabrication of epitaxial magnetic tunnel junctions with a Co_2MnSi thin film a MgO barrier on Ge(001) substrates via a MgO interlayer2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      56th Annual Conf.on Magnetism & Magnetic Materials
    • Place of Presentation
      The JW Marriott Desert Ridge (USA)
    • Year and Date
      2011-11-01
  • [Presentation] Fabrication of fully epitaxial magnetic tunnel junctions with CoFe electrodes and a MgO barrier on Ge(001) substrates via a MgO interlayer2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      2011 Int'l Conf.on Solid State Devices and Matenals
    • Place of Presentation
      Aichi Industry & Labor Center (Nagoya)
    • Year and Date
      2011-09-30
  • [Presentation] Effect of MgO Barrier Insertion on Spin-dependent Transport Properties of CoFe/n-GaAs2011

    • Author(s)
      T.Akiho, M.Harada, T.Uemura, K.-i.Matsuda M.Yamamoto
    • Organizer
      2011 Int'l Conf.on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      Aichi Industry & Labor Center (Nagoya)
    • Year and Date
      2011-09-30
  • [Presentation] Co_<50>Fe_<50>電極からGaAsへのスピン注入の電気的検出2011

    • Author(s)
      植村哲也, 秋保貴史, 原田雅亘, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      第35回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • Year and Date
      2011-09-30
  • [Presentation] Effect of GaAs Surface Structure on Tunneling Anisotropic Magnetoresistance in Epitaxial Co_<50>Fe_<50>/n-GaAs Junctions2011

    • Author(s)
      T.Uemura, T.Akiho, M.Harada, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      2011 Int'l Conf.on Solid State Devices and Materials
    • Place of Presentation
      Aichi Industry & Labor Center (Nagoya)
    • Year and Date
      2011-09-29
  • [Presentation] Epitaxial growth of Heusler alloy Co_2MnSi thin films on Ge(001) substrates via a MgO interlayer2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, K.-i.Matsuda, M.Arita, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      第35回日本磁気学会学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • Year and Date
      2011-09-27
  • [Presentation] Co_2MnSi/MgO/Co_2MnSiエピタキシャルMTJにおけるトンネル抵抗のバリア膜厚に対する磁化平行と反平行に共通する振動2011

    • Author(s)
      本田佑輔, 平田進之佑, 劉宏喜, 松田健一, 植村哲也, 山本眞史
    • Organizer
      2011秋季第72回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形市)
    • Year and Date
      2011-09-02
  • [Presentation] CoFe/n-GaAsヘテロ接合におけるスピン依存伝導特性のMgO層挿入効果2011

    • Author(s)
      秋保貴史, 植村哲也, 原田雅亘, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      2011秋季第72回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形市)
    • Year and Date
      2011-08-31
  • [Presentation] Co_<50>Fe_<50>を用いたGaAsへの室温におけるスピン注入2011

    • Author(s)
      植村哲也, 秋保貴史, 原田雅亘, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      2011秋季第72回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形市)
    • Year and Date
      2011-08-31
  • [Presentation] Structural and magnetic properties of epitaxially grown Heusler alloy Co_2MnSi/MgO heterostructures on Ge(001) substrates2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, K.-i.Matsuda, M.Arita, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      2011秋季第72回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形市)
    • Year and Date
      2011-08-30
  • [Presentation] CoFeおよびホイスラー合金Co_2MnSiを用いたGaAsへのスピン注入2011

    • Author(s)
      植村哲也, 秋保貴史, 原田雅亘, 松田健一, 山本眞史
    • Organizer
      第36回「スピンエレクトロニクス専門研究会」
    • Place of Presentation
      中央大学(東京都)(招待講演)
    • Year and Date
      2011-08-22
  • [Presentation] Spin-dependent tunneling characteristics of Heusler alloy/MgO heterostructures2011

    • Author(s)
      M.Yamamoto, T.Uemura, K.-i.Matsuda
    • Organizer
      5^<th> Int'l Workshop on Spin Currents
    • Place of Presentation
      Sendai International Cente (Sendai)(招待講演)
    • Year and Date
      2011-07-27
  • [Presentation] Spin injection from Co_<50>Fe_<50> into GaAs at room temperature2011

    • Author(s)
      T.Akiho, M.Harada, T.Uemura, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      5^<th> Int'l Workshop on Spin Currents
    • Place of Presentation
      Sendai International Cente (Sendai)
    • Year and Date
      2011-07-27
  • [Presentation] Oscillations in spin-dependent tunneling resistances as a function of MgO barrier thickness in epitaxial magnetic tunnel junctions with Heusler alloy Co_2MnSi electrodes2011

    • Author(s)
      Y.Honda, S.Hirata, H.-x.Liu, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      5^<th> Int'l Workshop on Spin Currents
    • Place of Presentation
      Sendai International Cente (Sendai)
    • Year and Date
      2011-07-27
  • [Presentation] Effect of chemical composition in Co_2MnSi thin films facing an MgO barrier on magnetic states of Mn Co atoms2011

    • Author(s)
      T.Kadono, V.R.Singh, V.K.Verma, K.Ishigami, G.Shibata, A.Fujimori, D.Asakura, T.Koide, Guifang Li, T.Ishikawa, M.Yamamoto
    • Organizer
      5^<th> Int'l Workshop on Spin Currents
    • Place of Presentation
      Sendai International Cente (Sendai)
    • Year and Date
      2011-07-26
  • [Presentation] Electrical detection of spin injection from Co_<50>Fe_<50> into GaAs at room temperature2011

    • Author(s)
      T.Uemura, M.Harada, T.Akiho, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      15th Int'l Conf.on Modulated Semiconductor Structures (MSS 15)
    • Place of Presentation
      Florida State University Conference Center (USA)
    • Year and Date
      2011-07-26
  • [Presentation] Epitaxial growth of Heusler alloy Co_2MnSi/MgO heterostructure on Ge(001) substrate2011

    • Author(s)
      G.-f.Li, T.Taira, K.-i.Matsuda, T.Uemura, M.Yamamoto
    • Organizer
      Int'l Magnetics Conf.2011 (INTERMAG 2011)
    • Place of Presentation
      Taipei International Convention Center (Taiwan)
    • Year and Date
      2011-04-29
  • [Presentation] Spin-dependent transport properties of Co_2MnSi/MgO/n-GaAs tunnel junctions2011

    • Author(s)
      T.Akiho, M.Harada, T.Uemura, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      Int'l Magnetics Conf.2011(INTERMAG 2011)
    • Place of Presentation
      Taipei International Convention Center (Taiwan)
    • Year and Date
      2011-04-26
  • [Presentation] Electrical injection and detection of spin-polarized electrons in an epitaxial Co_<50>Fe_<50>/n-GaAs junction2011

    • Author(s)
      T.Uemura, M.Harada. T.Akiho, K.-i.Matsuda, M.Yamamoto
    • Organizer
      Int'l Magnetics Conf.2011 (INTERMAG 2011)
    • Place of Presentation
      Taipei International Convention Center (Taiwan)
    • Year and Date
      2011-04-26

URL: 

Published: 2013-06-26  

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