2013 Fiscal Year Annual Research Report
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23246067
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
永妻 忠夫 大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (00452417)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
久武 信太郎 大阪大学, 基礎工学研究科, 助教 (20362642)
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| Project Period (FY) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| Keywords | マイクロ波・ミリ波 / テラヘルツ波 / トモグラフィ / 電子デバイス・機器 / 計測工学 |
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| Research Abstract |
最終年度にあたる本年度は、「周波数掃引型領域トモグラフィ(THz-OCT)システム」の実用化に不可欠な、高空間分解能化と画像取得の高速化の2つのポイントに注力し、プロトタイプシステムを開発した。具体的に得られた成果は以下のとおりである。
１）高空間分解能化：周波数逓倍を利用した全電気技術により、430GHz～750GHz帯の周波数掃引型トモグラフィシステムを開発した。奥行き分解能として、該帯域から理論的に予想される分解能、約0.7mm(空気中)を実験的に実証し、目標としていたサブミリメートル分解能を達成した。
２）全電気技術と光技術との比較：並行して、昨年度開発した光技術を用いた周波数掃引型THz-OCTシステムの性能向上を推進し、奥行き分解能0.6mm、横方向分解能0.45mmを達成した。また、奥行き方向の測定精度として±3umが確認され、ペットボトル、ICカード、ケーブル等の単層・多層膜の厚み計測に有効であることを示した。また、光技術を用いた場合、より広帯域の信号発生が可能であり、検出器の広帯域化により、一層の高分解能化が期待できる。一方、全電気システムでは、光技術に比べて約10倍の高出力化が可能であり、損失の大きな物体へ適用することができる。
３）測定時間短縮化技術の開発：システムの測定時間を支配している要因は、2次元平面方向の画像を得るためにメカニカルステージで被測定物を動かすところにあった。そこで、新たに設計したＦθレンズとガルバノミラーを組み合せることにより、1次元のビームスキャナーを開発し、上記の全電気方式THz-OCTシステムに導入した。±30mmの範囲を0.2秒で計測可能となり、今後、2次元スキャナーの導入によるリアルタイム計測の実現の見通しが得られた。
上記の成果に対し、国内学会の論文賞2件、海外学会の論文賞1件、ならびに招待論文2件と、高い評価が得られた。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(21 results)
