2013 Fiscal Year Annual Research Report
結晶成長その場観察を可能とするＸ線回折測定装置の開発
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23360009
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
田渕 雅夫 名古屋大学, シンクロトロン光研究センター, 教授 (90222124)
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| Project Period (FY) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| Keywords | X線集光光学系 / X線回折 / X線散乱 / その場測定 / X線反射率測定 |
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| Research Abstract |
本研究では集光光学系を用いることでゴニオメータ等の回転機構を廃した新しいX線回折・散乱測定装置の開発を目指した。集光光学系の導入によって回転機構を排除することで、結晶成長装置などの他の装置との組み合わせが容易になることや、測定時間の短縮が期待できると考えた。
この様な目的のため、本研究では次のようなことを行った。まず第一に、X線集光光学系を設計し作製した。その際、必要なX線集光結晶の作製も同時に行った。集光光学系は、試料に多方向から同時にX線を入射することで試料の回転なしに様々な方向からXが入射する場合に相当する測定を行うためのものである。これに加えて、検出器として2次元検出器(CCD)を導入した。2次元検出器を用いると、検出器を回転させること無く、試料から様々な方向に散乱するX線を同時に測定できる。この2つの要素の組み合わせにより、回転機構を廃したX線回折・散乱測定装置が構成できた。
さらに、この測定系が有効に機能することを示すため、測定系の中に配置できる小型の試料加熱機構と簡易的な金属蒸着用チャンバを準備し、本測定装置を用いた試料表面状態のその場観察を試みた。この結果、確かに短時間(数分)で試料表面の状態を知るためのX線反射率スペクトルが測定できた。このことから、本研究で開発した回転機構を廃した新しいX線回折・散乱測定装置が、その場観察装置として有効に機能することが確認された
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| Current Status of Research Progress |
Reason
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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