2012 Fiscal Year Annual Research Report
高精度複合型ダイヤモンドツールの開発と微細構造デバイスへの応用に関する研究
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23360067
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| Research Institution | Chiba University |
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Principal Investigator |
森田 昇 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30239660)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松坂 壮太 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (30334171)
比田井 洋史 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60313334)
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| Project Period (FY) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| Keywords | 精密部品加工 / 工具 / CVD / ダイヤモンド |
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| Research Abstract |
本研究は、各種極微細加工用の高精度複合型ダイヤモンドツールの開発と微細構造デバイスへの応用を目的としている。
そこで昨年度までに（１） CVDダイヤモンドチップを合成するための最適な装置の開発、（２） リソグラフィー技術などを併用した種々の形状のCVDダイヤモンドチップの開発、（３） CVDダイヤモンドチップを高精度でシャンクに装着する装置の開発を行った．
本年度は以下の項目を行った．
（A）CVDダイヤモンド合成装置の改良：前年度試作したCVDダイヤモンド合成装置により収集した基礎データをもとに、さらに緻密で高精度なダイヤモンドを5um/hの速度での成膜が可能となるように装置に改良を加え，実際に合成実験を行った。
（B）高精度ダイヤモンドチップ接合装置の開発：これまでは簡単な手動式の顕微鏡下で接着剤を用いて接合していた．しかし，この方法では1um以下の位置決め精度で接合することが困難であった．そこで，本年度ではこれを精度良く接合する技術の確立を試みた．実際にシャンク先端とCVDダイヤモンド刃先を正確に位置決めする装置の設計と、CVDダイヤモンドをメタライズして、顕微鏡下での陽極接合によりダイヤモンドチップをシャンクに装着する技術を開発した。
（C）複合型CVDダイヤモンドツールの評価と改良：試作したダイヤモンドツールを用いて加工実験を行った．この加工データをもとに、より最適な形状の工具を作製した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
昨年度は，代表者が異動した関係で，やや遅れていたが，本年度では以下の項目を達成した．
（A）CVDダイヤモンド合成装置の改良：装置に改良を加え，高精度なダイヤモンドを5um/hの速度での成膜を実現した。
（B）高精度ダイヤモンドチップ接合装置を設計し実際にダイヤモンドチップをシャンクに装着する技術を開発した。
（C）複合型CVDダイヤモンドツールの評価と改良：試作したダイヤモンドツールを用いて加工実験を行った．
上記の成果は当初予定していた内容と概ね一致しており，予定通りである．
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| Strategy for Future Research Activity |
概ね予定通りに研究が進行している．今後は加工実験に重点を置き，より高品位な加工の実現を目指す．同時に，学界などで成果発表を行う．
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