2013 Fiscal Year Annual Research Report
高精度複合型ダイヤモンドツールの開発と微細構造デバイスへの応用に関する研究
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23360067
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| Research Institution | Chiba University |
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Principal Investigator |
森田 昇 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30239660)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松坂 壮太 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (30334171)
比田井 洋史 千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60313334)
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| Project Period (FY) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| Keywords | 微細加工 / AFM / FIB / カンチレバー |
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| Research Abstract |
本年度は以下の項目を行った．
（A）昨年度作製した装置を用いて，CVDダイヤモンド刃先をカンチレバーの先端に精度良く接合する手法を確立した．実際に，接合したCVDダイヤモンド刃先つかってNi－Pやシリコンの加工を実現した．
（B）集束イオンビームを用いて，試作したダイヤモンドツールの刃先形状を制御した．実際に，先端角，すくい角，横すくい角を設けた加工用AFMカンチレバーを作製し，Ni-P合金に対して溝加工実験を行い，切れ刃形状が加工溝性状に及ぼす影響について検討を行った．その結果，先端角35°，すくい角0°の切れ刃を有する加工用AFMカンチレバーを用いることで，切れ刃断面形状を精度よく転写した微細V溝加工を実現した．この作製した工具は，十分な強度と耐摩耗性を有することを示した．正の横すくい角を設けることにより，加工溝の盛り上がりの低減に有用であることを明らかにした．
（C）1 本のカンチレバーに複数の多結晶ダイヤモンド切れ刃を具備した多刃カンチレバーと，剛性の異なるカンチレバーを複数本有するマルチカンチレバーの2 種類の加工用AFMカンチレバーを作製し，Ni-P 合金めっきと単結晶シリコン(100)に対して加工実験を行い，高能率微細加工用工具としての評価を行った．その結果，多刃カンチレバーは，複数の切れ刃による同形状の同時加工が可能であった．これにより加工時間の短縮が図れる．また，マルチカンチレバーはたわみ剛性に応じた同時加工が可能であった．
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| Current Status of Research Progress |
Reason
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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