2011 Fiscal Year Research-status Report
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23540581
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| Research Institution | Chubu University |
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Principal Investigator |
中村 圭二 中部大学, 工学部, 教授 (20227888)
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2011-04-28 – 2014-03-31
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| Keywords | 電子密度 |
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| Research Abstract |
超LSIなどの電子デバイスでは大容畳化などの要求が強く､0.1ミクロン以下の超微細加工などに関連した技術開発が盛んに進められている｡量産レベルで所望の特性を得るにはプラズマを常に一定の状態に保つ綿密な制御が必要であり､それに対応できる高感度なプラズマモニタリング法の開発が進められている。特に電子は､ラジカルやイオンなどのプロセスに不可欠な粒子を生成する上で主要な役割を果たすため､電子状態のモニタリング技術が重要である｡そのような背景のもと、電子の状態として、電子密度と電子温度に着目し、それらのモニタが可能と考えられるマイクロ波共振器プローブを採用し、電磁界解析等により共振スペクトルを得ながら、高圧力プラズマでの共振特性を検討した。その結果、マイクロ波共振器プローブで得られる共振スペクトルは、高圧力プラズマでは電子密度とともに拡がり、電子密度のモニタに利用できることを示唆する結果が得られた。またその結果を国内学会にて発表し、大きな反響を得た。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
電磁界解析を中心としたシミュレーションが中心ではあるが、高圧力プラズマにおける電子密度の変化をモニタできる可能性を示し、かつその成果発表を行うことができた点で、重要なステップをクリアできたものと考えられる。ただ実験としての実証がまだ不十分であり、それが平成２４年度の課題である。
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| Strategy for Future Research Activity |
・電磁界解析の結果では、電子密度の変化とともに共振幅が変化すると同時に、共振周波数もわずかに変化することが示唆されており、今年度は共振周波数の変化と電子状態との関係を明らかにする。・マイクロ波共振器プローブの共振スペクトルを観測しながら、周囲に高圧力プラズマを生成し、そこでの共振周波数の変化や共振スペクトル幅を調べることを実験的に行い、これにより電磁界解析での結果を実証する。・プロープのアンテナ長やスリット幅などのアンテナ形状を変えながら共振周波数や共振スペクトル帰を調べ､共振スペクトルに及ぼすスリット形状の効果を明らかにする｡・プラズマの大きさやプローブとの相対的な位置関係を変えながら共振スペクトルを測定し、プローブにおける共振周波数と共振スペクトル幅に及ぼす畿何学的な効果を検証する｡・プラズマ内に材料系のガス等を導入して実際の材料プロセスに近い状況を作り、そのようなプロセスガスの混入が引き起こす共振スペクトルの変化について調べる。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
高圧力プラズマを生成するために必要な放電ガス等の消耗品やプラズマ容器における保守部品の購入に使用する。プラズマに曝して材料プロセスに近い状況を作るための各種材料の購入に使用する。電磁界解析を次年度も引き続き行うと同時に、プラズマまで含めたシミュレーションも行うため、ソフトウェアの保守のために使用する。
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Research Products
(5 results)
