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2013 Fiscal Year Final Research Report

Development of Morphology Control of Aluminum Films by Vacuum Evaporation and Application to Various Functional Devices

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 23550100
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Research Field Analytical chemistry
Research InstitutionKagoshima University

Principal Investigator

HIGO Morihide  鹿児島大学, 理工学研究科, 教授 (10128077)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) YOSHIDOME Toshifumi  鹿児島大学, 理工学研究科, 准教授 (60253910)
MITSUSHIO Masaru  鹿児島大学, 理工学研究科, 助教 (70372802)
Project Period (FY) 2011 – 2013
Keywords真空蒸着 / アルミニウム薄膜 / 表面形態 / 機能素子 / 交流インピーダンス法 / 表面積 / 表面プラズモンセンサー / エタノール添加ガソリン
Research Abstract

A new technique for preparing aluminum films having large surface areas and models for functional devices such as electrolytic capacitors or catalysts by vacuum evaporation was developed. The evaporation of aluminum onto heated aluminum substrates at temperatures between 460 and 520 degrees C gave the aluminum films having an isolated and columnar microstructure of standing grains with a diameter of about 1 micrometer. The comparison between the electric double-layer capacities of the aluminum films having the microstructure and the smooth aluminum substrates obtained from AC impedance measurements showed about a 2.6 times increase in the surface area. Concentrations of ethanol in gasoline were measured using an aluminum-deposited surface plasmon resonance-based glass rod sensor. The sensor has the evaporated aluminum film with a thickness of 15 nm and with a light-emitting diode at a wavelength of 400 nm and a photodiode.

  • Research Products

    (52 results)

All 2014 2013 2012 2011 Other

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (37 results) Book (3 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] テフロン[〇!R]AF1600 被覆金蒸着SPR 光ファイバーセンサーによる醸造酒中のエタノール濃度の選択的測定2014

    • Author(s)
      満塩 勝, 向野 孝幸, 肥後 盛秀
    • Journal Title

      分析化学

      Volume: 63(5) Pages: 365-370

    • URL

      http://www.jsac.jp/node/47

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Theoretical Considerations on the Responses of Gold- Deposited Surface Plasmon Resonance- Based Glass Rod Sensors Using a Three- Layer Fresnel Equation2014

    • Author(s)
      Masaru Mitsushio, Takuro Masunaga, Morihide Higo
    • Journal Title

      Plasmonics

      Volume: 9(2) Pages: 451-459

    • DOI

      10.1007/s11468-013-9643-6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 表面プラズモン共鳴に基づく金属蒸着光ファイバーセンサー2012

    • Author(s)
      満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Journal Title

      分析化学

      Volume: 61(12) Pages: 999-1011

    • URL

      http://www.jsac.jp/node/47

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ぶんせき2012

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Journal Title

      第72回分析化学討論会

      Volume: 9 Pages: 530-531

    • URL

      http://www.jsac.or.jp/bunseki/bunseki.html

  • [Journal Article] Properties of a Gold-Deposited Surface Plasmon Resonance-Based Glass Rod Sensor with Various Light- Emitting Diodes and Its Application to a Refractometer2012

    • Author(s)
      Masaru Mitsushio, Morihide Higo
    • Journal Title

      Optics Communications

      Volume: 285(18) Pages: 3714-3720

    • DOI

      10.1016/j.optcom.2012.04.043

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 18年前の思い出2012

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Journal Title

      日本分析化学会九州支部若手の会30周年記念誌

      Pages: 7-7

  • [Journal Article] ケビンショールス, 国の制度が取り持った「産」と「学」の技術開発2012

    • Author(s)
      満塩 勝, 加治屋 良二, 肥後 盛秀, 中武 貞文
    • Journal Title

      第72回分析化学討論会「展望とトピックス」

      Pages: 6-6

    • URL

      http://www.jsac.jp/

  • [Journal Article] 高感度金属蒸着光ファイバーSPR バイオセンサーシステムの開発2011

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Journal Title

      JST Miyazaki News

      Volume: 14 Pages: 3-4

    • URL

      http://www.miyazaki-jstsatellite.jp/

  • [Journal Article] 金属蒸着光ファイバーSPR 屈折率センサーを用いるガソリン中のバイオエタノール分析法の開発2011

    • Author(s)
      満塩 勝
    • Journal Title

      JST Miyazaki News

      Volume: 14 Pages: 3-4

    • URL

      http://www.miyazaki-jst-satellite.jp/

  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒SPR センサーの開発2013

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-12
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの利用に関する研究(6) ; エタノール添加ガソリン用のエタノール濃度センサーの開発2013

    • Author(s)
      平山 雄太, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 久保臣悟, 大園 義久
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-12
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(16) ; テフロンAF系被覆膜における試料の分子構造と選択性の関係2013

    • Author(s)
      竹之下 賢太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-12
  • [Presentation] 表面プラズモン共鳴センサーの利用に関する研究(4) ; 波長共鳴型SPR 装置を用いたテフロンAF系被覆膜による選択性の評価2013

    • Author(s)
      須藤 直樹, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 高橋浩三
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-12
  • [Presentation] 表面プラズモン共鳴センサーの利用に関する研究(3) ; 波長共鳴型SPR装置を用いた金属薄膜の誘電率の評価2013

    • Author(s)
      坂本 啓輔, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 高橋浩三
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-10
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(15) ; 2種金属における応答特性の検討2013

    • Author(s)
      増永 卓朗, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第62年会
    • Place of Presentation
      近畿大学東大阪キャンパス
    • Year and Date
      2013-09-10
  • [Presentation] Studies on Control of Response Properties of Metal-Deposited SPR Glass Rod Sensors2013

    • Author(s)
      Takuro Masunaga, Masaru Mitsushio, Morihide Higo
    • Organizer
      The Twelfth Asian Conference on Analytical Sciences (ASIANALYSIS XII)
    • Place of Presentation
      Maidashi Campus of Kyushu University
    • Year and Date
      2013-08-22
  • [Presentation] Theoretical Considerations on the Response Curves of Metal- Deposited SPR Glass Rod Sensors Using a Three-Layer Fresnel Equation2013

    • Author(s)
      Masaru Mitsushio, Takuro Masunaga, Morihide Higo
    • Organizer
      The Twelfth Asian Conference on Analytical Sciences (ASIANALYSIS XII)
    • Place of Presentation
      Maidashi Campus of Kyushu University
    • Year and Date
      2013-08-22
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(14) ; テフロンAF系被覆膜における選択性の検討2013

    • Author(s)
      満塩 勝, 竹之下 賢太, 須藤 直樹, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第73回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      北海道大学函館キャンパス
    • Year and Date
      2013-05-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(13) ; 金の膜厚分布と入射光の角度範囲の応答への影響2013

    • Author(s)
      増永 卓朗, 平山 雄太, 満塩 勝, 肥後盛秀
    • Organizer
      第73回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      北海道大学函館キャンパス
    • Year and Date
      2013-05-18
  • [Presentation] 液中の物質を検出する選択性を持った金属蒸着SPR ガラス棒センサー2013

    • Author(s)
      肥後 盛秀, 満塩 勝
    • Organizer
      鹿児島大学・産総研関西センター研究シーズ連携発表会
    • Place of Presentation
      大阪科学技術センター
    • Year and Date
      2013-01-28
  • [Presentation] 金属薄膜表面の形態観察と状態分析に関する研究紹介2012

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Organizer
      鹿児島地域での太陽光発電研究会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学産学官連携推進センター
    • Year and Date
      2012-10-31
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(11) ; センサー特性の制御に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      増永 卓朗, 平山 雄太, 満塩 勝, 肥後盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-21
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの利用に関する研究(4) ; エンジンオイルの燃料希釈センサーシステムの構築に関する研究2012

    • Author(s)
      内山 瑛, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-21
  • [Presentation] 走査型電子顕微鏡とX線光電子分光法によるアルミニウム基板上に真空蒸着したアルミニウム薄膜の形態観察及び状態分析2012

    • Author(s)
      林田 将充, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 大園義久
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-19
  • [Presentation] 高分解能X線光電子分光法による酸素グロー放電酸化銀薄膜の状態分析2012

    • Author(s)
      松井 章紀, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 大園義久
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-19
  • [Presentation] 表面プラズモン共鳴センサーの利用に関する研究(2) ; テフロンAF 系選択膜の応答特性に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      須藤 直樹, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(12) ; テフロンAF 系被覆膜を用いたアルコール類の選択的検出に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      竹之下 賢太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの利用に関する研究(5) ; 金あるいはアルミニウム薄膜を利用したエタノール添加ガソリン用濃度センサー2012

    • Author(s)
      平山 雄太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第61年会
    • Place of Presentation
      金沢大学角間キャンパス
    • Year and Date
      2012-09-19
  • [Presentation] 表面プラズモン共鳴センサーを利用したテフロンAF2400薄膜の選択性に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      須藤 直樹, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第30回九州分析化学若手の会夏季セミナー
    • Place of Presentation
      休暇村指宿
    • Year and Date
      2012-07-27
  • [Presentation] テフロンAF 系選択膜層を追加した金蒸着SPR ガラス棒センサーの水溶液系における応答特性に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      竹之下 賢太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第30回九州分析化学若手の会夏季セミナー
    • Place of Presentation
      休暇村指宿
    • Year and Date
      2012-07-27
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーを利用したエタノール添加ガソリン用濃度センサー2012

    • Author(s)
      平山 雄太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第30回九州分析化学若手の会夏季セミナー
    • Place of Presentation
      休暇村指宿
    • Year and Date
      2012-07-27
  • [Presentation] ケビン ショールス, 科学技術振興機構の支援制度を活用した産学連携の事例 ; 金蒸着ガラス棒SPR センサーを利用したエンジンオイルの燃料希釈計測法の開発2012

    • Author(s)
      満塩 勝, 加治屋 良二, 肥後 盛秀, 中武 貞文
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 大園義久, 高分解能X線光電子分光法による酸素グロー放電により表面改質された銀薄膜の状態分析2012

    • Author(s)
      松井 章紀, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 走査型電子顕微鏡による各種金属基板上に真空蒸着した金, 銀, 銅, アルミニウム, チタニウム薄膜の形態観察2012

    • Author(s)
      林田 将充, 高吉 悠治, 満塩 勝, 肥後盛秀, 大園 義久
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 表面プラズモン共鳴センサーの利用に関する研究(1) ; テフロンAF系の薄膜を用いた選択性に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      須藤 直樹, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの利用に関する研究(3) ; エンジンオイルの燃料希釈センサーシステムに関する基礎研究2012

    • Author(s)
      内山 瑛, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(8) ; ガラス棒内における透過光が応答に与える影響2012

    • Author(s)
      増永 卓朗, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(9) ; 金属薄膜の蒸着形態の違いが応答特性に与える影響2012

    • Author(s)
      平山 雄太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(10) ; テフロンAF系を用いた揮発性物質選択膜に関する基礎研究2012

    • Author(s)
      竹之下 賢太, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      第72回分析化学討論会
    • Place of Presentation
      鹿児島大学郡元キャンパス
    • Year and Date
      2012-05-19
  • [Presentation] 走査型電子顕微鏡と交流インピーダンス法によるアルミニウム基板上に真空蒸着したアルミニウム薄膜の形態観察2011

    • Author(s)
      林田 将充, 中澤 貴士, 満塩 勝, 肥後盛秀, 堀江 雄二, 大園 義久
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] X線光電子分光法による酸素グロー放電により表面改質された銀薄膜の状態分析2011

    • Author(s)
      松井 章紀, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 大園義久
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの利用に関する研究(2) ; Al 薄膜を利用したエタノール添加ガソリン用濃度センサー2011

    • Author(s)
      満塩 勝, 森崎 真司, 肥後 盛秀, 大園義久
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(6) ; 金の蒸着面積およびガラス棒径が応答に与える影響2011

    • Author(s)
      増永 卓朗, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] 金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究(7) ; 多層フレネル等式を利用したセンサーの応答特性の理論的予測2011

    • Author(s)
      内山 瑛, 満塩 勝, 肥後 盛秀
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] X線光電子分光法による酸素グロー放電酸化金薄膜の保存に関する研究2011

    • Author(s)
      南 紀彦, 満塩 勝, 肥後 盛秀, 大園 義久
    • Organizer
      日本分析化学会第60年会
    • Place of Presentation
      名古屋大学東山キャンパス
    • Year and Date
      2011-09-16
  • [Presentation] Sensor Properties of Metal-Deposited SPR Glass Rods with Au, Ag, and Al2011

    • Author(s)
      Masaru Mitsushio, Morihide Higo
    • Organizer
      IUPAC International Congress on Analytical Sciences 2011
    • Place of Presentation
      Kyoto International Conference Center
    • Year and Date
      2011-05-22
  • [Book] 日本分析化学会, 第72 回分析化学討論会「展望とトピックス」2012

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Total Pages
      38
    • Publisher
      公益社団法人
  • [Book] 高感度金属蒸着光ファイバーSPR バイオセンサーシステムの開発2012

    • Author(s)
      肥後 盛秀
    • Total Pages
      274(107)
    • Publisher
      JSTイノベーションサテライト宮崎研究成果報告書
  • [Book] 金属蒸着光ファイバーSPR 屈折率センサーを用いるガソリン中のバイオエタノール分析法の開発2012

    • Author(s)
      満塩 勝
    • Total Pages
      274(185)
    • Publisher
      JSTイノベーションサテライト宮崎研究成果報告書
  • [Remarks]

    • URL

      http://cb.apc.kagoshima-u.ac.jp/~higolabo/

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 屈折率センサ及びその製造方法2012

    • Inventor(s)
      肥後 盛秀, 満塩 勝
    • Industrial Property Rights Holder
      肥後 盛秀, 満塩 勝
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特許第5013429 号
    • Acquisition Date
      2012-06-15
  • [Patent(Industrial Property Rights)] アルミニウム薄膜及びその製造方法, 電解コンデンサ, 触媒金属膜, 並びに分離素子2011

    • Inventor(s)
      肥後 盛秀, 満塩 勝
    • Industrial Property Rights Holder
      肥後 盛秀, 満塩 勝
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2011-189748, 特開2012-72495
    • Filing Date
      2011-08-31

URL: 

Published: 2015-07-16  

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