2013 Fiscal Year Annual Research Report
反射高速電子回折の強度振動モニタリングによる有機格子整合ヘテロエピタキシー成長
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23560001
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| Research Institution | Hirosaki University |
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Principal Investigator |
伊高 健治 弘前大学, 学内共同利用施設等, 准教授 (40422399)
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| Keywords | 有機分子 / エピタキシー / RHEED |
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| Research Abstract |
有機半導体は、無機材料と大きく異なっているために半導体工学での常識が見落とされがちである。しかしながら、これまで我々は、分子が単位であること、格子定数が大きいこと、分子間力が小さいことに留意すれば、半導体テクノロジーの範疇に収まることを示してきた。
我々は、赤外線レーザーＭＢＥ法とマルチチャンネルプレートＲＨＥＥＤ振動観察を組み合わせることによって、無機材料で行われているような分子線エピタキシーを有機材料についても実現可能であることを示してきた。
今回、マルチチャンネルプレートＲＨＥＥＤ観察装置について、レイヤーバイレイヤー成膜技術の向上のために、装置構造の改良を行った。具体的には、マルチチャンネルプレートを用いた高感度スクリーンのデータ取り込みについて、画像取り込みボードをこれまでの８ビット(２５６階調)から10ビット(１０２４階調)に変更した。これによって、ダイナミックレンジが広がり、基板由来のピークと薄膜由来のピークの強度がかなり異なる場合でも製膜開始時から同一の光量調整で測定出来る様になった。これによってルブレン単結晶について赤外線レーザーMBE法によって直接薄膜堆積を行い、ＲＨＥＥＤパターンの推移を観察することができた。
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