2013 Fiscal Year Annual Research Report
新材料・新量子構造を用いた高性能中赤外デバイスの研究
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23560012
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Research Institution | Osaka Prefecture University |
Principal Investigator |
河村 裕一 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80275289)
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Keywords | MBE / 量子井戸 / アンチモン / 窒素 / 中赤外デバイス |
Research Abstract |
H25年度は以下の3点に関する成果を得た。 (1)InAsSbN単一量子井戸レーザ:MBE法により厚さ3nmの単一量子井戸を成長温度450℃で作製し、室温でのELピーク波長として2.54μmを実現することが出来た。またアニール処理した試料において220Kで波長2.36μmのレーザパルス動作を実現することが出来た。特製温度は66Kであった。 (2)InGaAsN/GaAsSbタイプII量子井戸ダイオード:MBE法によりInGaAsN/GaAsSbタイプII量子井戸ダイオードを成長温度480℃で作製し、室温でのEL発光波長として2.86μmを実現することが出来た。これは窒素1%の導入で約100meVのエネルギーシフトが得られることを示しており、これまでのInGaAsNで得られた結果と良い整合性があることが明らかとなった。 (3)InP基板上のInAs/GaSbタイプII量子井戸構造:MBE法によりInP基板上にGaSbバッファ層を積層することにより、高品質のInAs/GaSbタイプII量子井戸が作製可能であることがわかった。結晶表面にはクラックうは観測されなかった。またInAs/GaSbタイプII量子井戸はX線回折においてするどい回折ピークを示し、PL発光波長として6μmを得ることが出来た。PL発光強度はGaSb基板上のものと同等以上であり、高品質の結晶が得られていることが明らかとなった。
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Research Products
(5 results)