• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2012 Fiscal Year Research-status Report

金を助触媒とした鉄シリサイド光化学ダイオード

Research Project

Project/Area Number 23560018
Research InstitutionKanagawa Industrial Technology Center

Principal Investigator

秋山 賢輔  神奈川県産業技術センター, その他部局等, 研究員 (70426360)

Keywords鉄シリサイド / 光化学ダイオード / 助触媒 / 可視光
Research Abstract

光触媒は日本の研究が先進する分野であり、水や空気清浄化技術等で利用され人工光合成への期待もされるクリーン技術である。現状は太陽光の紫外領域での動作にとどまっており可視光応答が課題となっている。一方、鉄(Fe)とシリコン(Si)で構成される鉄シリサイド半導体は良質な薄膜成長技術の飛躍的進展により、光半導体としての基礎物性の理解と発光・受光素子用の応用への研究がこの10年来わが国を中心に進められている半導体である。
本研究は鉄シリサイド半導体の禁制帯幅が0.80(eV)と狭いこと、光吸収係数が1(eV)において10E5(/cm)以上と大きいことに着目し金(Au)を助触媒として担持した光化学ダイオードを作製し、可視光応答可能な光触媒の実現を目的としている。H24年度は光触媒効果による反応の内部因子となる表面積、及び結晶欠陥密度に着目し、低欠陥密度を有し、結晶粒径が制御された鉄シリサイドの合成を検討した。
その結果、電子顕微鏡による粒径評価、フォトルミネッセンス発光特性による欠陥密度の評価結果を合成条件にフィードバックさせることで、シリコン基板表面に導入する表面構造改質を目的とした金属膜の堆積量を最適化し、鉄シリサイド結晶内部の欠陥密度が飛躍的に低下させ、光励起キャリアの拡散長よりも小さな微細粒結晶の合成を実現した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

光触媒反応の内部因子となる表面積の増大化、及び結晶欠陥密度の低減という課題に対し、電子顕微鏡によるAuコートSi基板上に形成した鉄シリサイド結晶の初期核形成・粒成長の機構解析、及びフォトルミネッセンス発光特性による欠陥密度評価を行った。その結果、核形成密度の増大化、及び粒成長を抑えた鉄シリサイド結晶成長の最適化が図られ、さらにキャリアが効率良く表面反応に寄与可能な粒サイズへの微細化が達成された。更に結晶内部の欠陥密度の飛躍的な低下が明らかとなった。

Strategy for Future Research Activity

23年度、24年度までに行った低欠陥密度を結晶からなる鉄シリサイド微細結晶に助触媒としてのAuを担持させ、光触媒特性評価を行う。光触媒特性評価では閉鎖循環系触媒反応装置を用いた評価がこの研究分野において主流となっており、25年度ではこの閉鎖循環系触媒反応装置による光触媒反応速度、光応答性の評価を行う。

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

光触媒特性の評価には閉鎖循環系触媒反応装置を用いた評価が主流となっており、外部成果発表にはこの評価装置での結果が重要となることが判明した。そのため、既存の触媒反応装置を光照射可能な閉鎖循環系に改造する必要があり、その費用に充てる予定。

  • Research Products

    (17 results)

All 2013 2012 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (14 results) (of which Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Epitaxial growth of (010)-oriented β-FeSi2 film on Si(110) substrate2013

    • Author(s)
      K. Akiyama, H. Funakubo and M. Itakura
    • Journal Title

      Materials Research Society Symposium Proceedings

      Volume: 1493 Pages: 407-412

    • DOI

      10.1557/opl.2013.407-412

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Epitaxial Indium Tin Oxide Film Deposited on Sapphire Substrate by Solid-Source ECR Plasma2012

    • Author(s)
      S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto and T. Amazawa
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied. Physics

      Volume: vol.51 (01AC02) Pages: 1-4

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Epitaxial Growth of Iron Silicide Thin Film on 4H-SiC

    • Author(s)
      K. Akiyama, T. Kadowaki, Y. Hirabayashi and H. Funakubo
    • Organizer
      6th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics
    • Place of Presentation
      メルパルク横浜
  • [Presentation] Photoluminescence enhancement from β-FeSi2 on Ag-coated Si

    • Author(s)
      K. Akiyama, M. Itakura and H. Funakubo
    • Organizer
      Solid State Devices and Materials 2012
    • Place of Presentation
      京都国際会館
  • [Presentation] Preparation of highly Crystalline Mg2Si film by RF magnetron sputtering method

    • Author(s)
      A. Katagiri, M. Matsushima, K.Akiyama, H. Funakubo
    • Organizer
      IUMRS International Conference on advanced Materials 2012
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜
  • [Presentation] Direct and indirect recombination radiation from β-FeSi2 epitaxial film

    • Author(s)
      K. Akiyama, H. Funakubo
    • Organizer
      Materials Research Society Fall Meetings
    • Place of Presentation
      Boston, USA
  • [Presentation] MOCVD法で合成したβ-FeSi2薄膜のフォトルミネッセンス発光特性

    • Author(s)
      秋山賢輔, 平林康男, 舟窪浩
    • Organizer
      第73回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      松山大学
  • [Presentation] スパッタリング法によるMg2Si膜の配向制御とその評価

    • Author(s)
      片桐淳生,小川正太,秋山賢輔,松島正明,舟窪 浩
    • Organizer
      第73回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      松山大学
  • [Presentation] AgコートしたSi上への高品質鉄シリサイド薄膜の形成

    • Author(s)
      秋山賢輔,高橋亮,松本佳久,舟窪浩,板倉賢
    • Organizer
      第60回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] AgコートしたSi上に成長させたβ-FeSi2薄膜の微細構造解析

    • Author(s)
      本村俊一,林剛平,板倉賢,秋山賢輔
    • Organizer
      第60回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] 3C-SiC/Si(001)界面における積層欠陥の収差補正TEM解析

    • Author(s)
      山崎順,稲元伸,野村優貴,石田篤志,秋山賢輔,平林康男,田中信夫
    • Organizer
      第60回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] スパッタリング法によるエピタキシャルMg2Si膜の作製

    • Author(s)
      片桐淳生,小川正太,松島正明,秋山賢輔,舟窪浩
    • Organizer
      第60回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] スパッタリング法によるMg2Si膜の作製と評価

    • Author(s)
      小川正太,片桐淳生,松島正明,秋山賢輔,舟窪浩
    • Organizer
      第60回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
  • [Presentation] 鉄シリサイド薄膜合成での結晶欠陥低減への試み

    • Author(s)
      秋山賢輔
    • Organizer
      第21回シリサイド系半導体研究会
    • Place of Presentation
      海老名市商工会館
    • Invited
  • [Presentation] スパッタリング法によるMg2Si膜の作製と評価①

    • Author(s)
      片桐淳生, 小川正太, 松島正明, 秋山賢輔, 舟窪浩
    • Organizer
      第51回セラミックス基礎科学討論会
    • Place of Presentation
      仙台国際センター
  • [Presentation] スパッタリング法によるMg2Si膜の作製と評価②

    • Author(s)
      小川正太, 片桐淳生, 松島正明, 秋山賢輔, 舟窪浩
    • Organizer
      第51回セラミックス基礎科学討論会
    • Place of Presentation
      仙台国際センター
  • [Remarks] 神奈川県産業技術センター 研究成果

    • URL

      http://www.kanagawa-iri.go.jp/researchresults.html

URL: 

Published: 2014-07-24  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi