2012 Fiscal Year Research-status Report
フィードバック型広帯域干渉計による位相・群屈折率分散計測システムの開発
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23560047
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
平井 亜紀子 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 主任研究員 (00357849)
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| Keywords | 屈折率 / 群屈折率 / 分散 / 干渉計測 / 広帯域光干渉計 / チャネルドスペクトル |
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| Research Abstract |
光科学、光学産業の多くの分野で、光学材料の屈折率やその波長依存性（分散）の正確な情報が必要とされているが、10-5から10-6オーダーで信頼性が確保できる技術は少なく、またこれまではレーザーや輝線スペクトルのような離散的な単一波長における屈折率の値しか直接精密測定できなかった。本研究では、白色LEDのようなブロードバンド光源を用い、バリアブルパス（光路長可変）干渉法と分光器、光路長補償系を組み合わせることにより、光学材料の位相屈折率分散および群屈折率分散を精密に直接計測する手法を開発する。
平成24年度は、前年度に設計した、群屈折率分散と位相屈折率分散の両方を測定することができる光学系を構築した。また、目標とする屈折率の測定精度を達成するために重要な装置の性能を評価した。
群屈折率分散測定では、光路長変化用のステージが静止した状態でチャネルドスペクトルを取得する。位相屈折率分散測定では、光路長変化用のステージを移動させながら時間変化する干渉縞を取得する。よって、長距離移動ステージの静止性能および移動速度の安定性が重要である。平成23年度に長距離移動ステージの仕様を決定し発注したが、受注メーカーが要求仕様を達成できずに納品が大幅に遅れていた。メーカーへの改善依頼を行ってきたが仕様を達成できなかったため、要求仕様を緩和せざるを得なかった。ステージの制御パラメーターを調整しながら、長距離移動ステージの静止性能および移動性能を評価し、できるだけ良い性能が得られるパラメータを探索した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
前年度、長距離移動ステージの受注メーカーが要求仕様を達成できずに納品が大幅に遅れ、今年度も達成できずに要求仕様を緩和してようやく納品された。当初の要求仕様を満たしていないため、取得できる信号の質が悪い。
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| Strategy for Future Research Activity |
平成25年度には、現状のステージ性能でできるだけ高い精度が得られるように測定系やステージの制御パラメータを決定し、屈折率分散測定システムを構築していく。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
当初予定より長距離移動ステージの性能が低いため、測定システムの構築が遅れ、次年度に予算が繰り越されている。平成25年度の研究費と合わせて、屈折率分散測定システムを構築するための光学部品、電気部品、機械部品を購入する。また、チャネルドスペクトルや時間変化する干渉縞を取得するためのソフトウェアを購入する。
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