2013 Fiscal Year Annual Research Report
微粉ダイヤモンド砥石の機能性マイクロチップポケット付加技術の開発
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23560126
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| Research Institution | Okayama University |
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Principal Investigator |
大橋 一仁 岡山大学, 自然科学研究科, 准教授 (10223918)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
塚本 眞也 岡山大学, 自然科学研究科, 教授 (80163773)
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| Keywords | ダイヤモンド砥石 / レジノイドボンド / 目づまり / カーボン |
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| Research Abstract |
前年度までで，硬質カーボンの乾式正面研削（研磨）加工により目づまり状態となった微粉のレジノイドボンドダイヤモンド砥石に対して粘着テープを用いた切りくず除去技術を確立したが，さらに除去能率を向上させるため，今年度は，目詰まりした微粉ダイヤモンド砥石の表面に対して高圧でドライアイスの微粒子を投射する方法を考案し，目づまり切りくずの除去の効果を実験的に検証した．その結果，ドライアイス微粒子を投射すると，目づまり切りくずへのドライアイスの衝突とドライアイスの昇華に伴う衝撃によって，カーボン切りくずの除去が可能であることが明らかになった．切りくずの除去効果は，投射ノズルのスタンドオフが小さいほど，砥石とノズルの相対速度が小さいほど高く，粒度600から2000のダイヤモンド砥石まで同様な効果が確認された．また，乾式研削により砥石表面に付着したカーボン切りくずの除去には，微量のドライアイス供給量でもアシストガスの供給圧力を高く設定することでかなりの効果を発揮することが明らかとなり，粘着テープの転圧・はく離による方式に比べて，大幅な作業時間の短縮が見込めることが明らかになった．さらに，本方式では切りくず除去に伴う廃棄物（粘着テープ方式でははく離後の粘着テープ）がほとんど皆無であり，環境への配慮の点でも優れている．なお，切りくず除去により生成されたチップポケットへの切りくず再付着を抑制することを目標として，フッ素系コーティング剤を塗布しカーボンの研削実験を実施したが，期待された効果は確認されなかった．
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