2012 Fiscal Year Research-status Report
結晶系太陽電池ウェハ加工用ダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発とその加工特性
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23560138
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| Research Institution | Kanazawa Institute of Technology |
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Principal Investigator |
諏訪部 仁 金沢工業大学, 工学部, 教授 (40202139)
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| Keywords | スライシング加工 / 切断加工 / ダイヤモンドワイヤ工具 / 太陽電池用ウェハー |
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| Research Abstract |
本科学研究費の申請段階では，平成24年度には平成23年度に新たに製作したダイヤモンドワイヤ工具の高速作製装置を用いて作製したダイヤモンドワイヤ工具の切断評価と加工液が切断特性に及ぼす影響を研究する予定になっていた．それに加えて，平成23年度の実施状況報告書でも述べたように，完了できなかったワイヤ工具の電着特性とその切断評価も行った．
平成23年度に完了できなかったダイヤモンドワイヤ工具の電着特性が加工に及ぼす影響については，平成24年度に行う予定であった高速作製したワイヤ工具の切断特性と一緒に行った．具体的には，本申請課題のために製作したダイヤモンドワイヤ工具の高速作製電着装置を用いて，芯線径φ0.12mm の芯線にφ15μm のダイヤモンド砥粒を電着したワイヤ工具を作製し，切断実験を行った．そして，その結果，電着条件に対するワイヤ工具の切断特性や砥粒の突き出し量と切断特性の関係が明らかとなり，申請当時の予定を終了した．
平成24年度に行う2つ目の計画であった加工液が加工特性に与える影響については，加工データの再現性を考慮して，市販の電着ダイヤモンドワイヤ工具を用いて切断実験を行い，評価した．その結果，工作物を上方に押し上げながら切断するアップカット方式と工作部を降下させながら切断するダウンカット方式では加工に適した加工液粘度が異なる，加工液中のpHが加工特性に影響を与える等の事柄が明らかとなり，当初の予定はほぼ完了した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
研究実績の概要の所でも述べたが，平成23年度に完了できなかったダイヤモンドワイヤ工具高速作製とダイヤモンドワイヤ工具の特性が加工に及ぼす影響を含めて平成24年度の研究計画は概ね遂行できている．
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| Strategy for Future Research Activity |
今後の研究の推進方法として，平成２４年度までの計画は概ね達成できたため，本申請課題の当初の予定通り，ダイヤモンドワイヤ工具による切断において基台の影響とスライシング加工中の加工溝内部の加工液の挙動の評価を行う予定である．
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
平成２４年度はダイヤモンドワイヤ工具の切断評価する装置の加工液の温調装置が壊れ，予算の多くの部分をその修理費に充てることになった．
平成２５年度は最終年度であるため，4月の当初から予算が使えるように若干の予算を繰り越し，当初の計画通りに研究が進むように実験を進める準備をしている．今年度は
切断実験のための消耗品，ワイヤ工具作製のための電着用消耗品を中心に研究経費を使う予定をしている．
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