2013 Fiscal Year Annual Research Report
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23560176
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| Research Institution | National Institute for Materials Science |
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Principal Investigator |
土佐 正弘 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (20343832)
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| Keywords | トライボロジー / 固体潤滑 / スパッタコーティング / 真空 / 高温 / 表面分析 / 珪素系酸化物 |
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| Research Abstract |
珪素系酸化物(SiOx)コーティング膜の化学量論比 x が摩擦係数に及ぼす影響を明らかにするために、化学量論比を調整できるコーテイング装置を試作し、アルゴンガス雰囲気の分圧酸 素ガス流量を微調整することによってSUS系ステンレス鋼基板表面に珪素系酸化物のコーティングを施し、その結果、化学量論比を変えながらシリコン系酸化物コーティング膜を精度良く作成することができた。さらに、大気圧雰囲気において室温から高温まで雰囲気温度を可変しながら、摩擦荷重と摺動回数を連続的に変えながら摩擦係数のデータを取得できるトライボロジー試験器を試作し、その結果、シリコ ン系酸化物潤滑剤コーティング膜の化学量論比が摩擦係数に及ぼすスパッタ全圧や酸素分圧 等いくつかの重要な知見が得られ、最適膜作成条件を確立することができ、作成した珪素系酸化物(SiOx)コーティング膜が固体潤滑性能が極限環境使用に有用であることが示された。
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